產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

采用壓電自感應(yīng)探針的原子力顯微鏡（AFM），創(chuàng)新產(chǎn)品、品質(zhì)。實(shí)現(xiàn)形貌成像分析、譜曲線測(cè)量等功能，免激光調(diào)節(jié)、操作簡(jiǎn)單。推薦教學(xué)教育領(lǐng)域。

儀器特點(diǎn)

• 采用基于石英音叉的壓電自感應(yīng)探針，如Akiyama探針。

• 測(cè)量成像無(wú)需激光檢測(cè)，操作簡(jiǎn)單，原理清晰，可快速完成實(shí)驗(yàn)。

• 支持頻率調(diào)制模式的形貌成像和力梯度-距離曲線等測(cè)量分析功能。

• 采用高精度嵌入式測(cè)控系統(tǒng)，主機(jī)隔音抗震設(shè)計(jì)，抗干擾能力強(qiáng)。

• 內(nèi)部空間足夠安裝高倍光學(xué)物鏡，方便與光學(xué)顯微鏡適配。

• 可通過(guò)選配模塊和擴(kuò)展接口增強(qiáng)系統(tǒng)功能。

Akiyama自感應(yīng)探針

主要技術(shù)參數(shù)

• 一鍵式快速自動(dòng)進(jìn)樣，行程23mm，最小步距50nm。

• 手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品檢測(cè)位置，調(diào)節(jié)范圍±10.0mm。

• 樣品尺寸的直徑20mm，厚度20mm。

• 標(biāo)配管型掃描器，掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

• 樣品逐行掃描成像，掃描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次掃描多幅圖像，圖像分辨高達(dá)1024×1024物理象素。

• 自感應(yīng)探針采用頻率調(diào)制模式，數(shù)字化PID反饋控制的響應(yīng)時(shí)間為10μs。

• 嵌入式測(cè)控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器（ARM + DSP），內(nèi)置數(shù)?；旌辖Y(jié)構(gòu)的鎖相放大器，與上位機(jī)連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。

• 適配光學(xué)顯微鏡物鏡的最短工作距離僅需9.5毫米。

標(biāo)準(zhǔn)配置：

• 主控制器

• 主機(jī)底座及隔音罩

• 主機(jī)探頭及探針架（A型）

• 手動(dòng)樣品調(diào)節(jié)臺(tái)（調(diào)節(jié)范圍±10.0mm）

• 管型掃描器（掃描范圍20μm）

• 計(jì)算機(jī)及專用測(cè)控軟件

• 儀器附件

A型探針架（WinSPM A-Probe）

選配模塊：

• 掃描隧道顯微鏡（STM）模塊，包括：掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架（WinSPM T-Probe） 

• 納米加工模塊，包括：圖形化納米加工、機(jī)械刻蝕、矢量掃描等功能

• 輔助觀察光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)：物鏡倍數(shù)：0.7X～4.5X；總放大倍數(shù)：42-266X連續(xù)可調(diào)（14”有效顯示面積）；工作距離：115mm

• 管型掃描器模塊：掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格

應(yīng)用領(lǐng)域及實(shí)驗(yàn)

• 實(shí)驗(yàn)一：原子力顯微鏡基本原理與操作，典型的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榻虒W(xué)教育行業(yè)，包括：大學(xué)物理演示實(shí)驗(yàn)，中學(xué)納米科技創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)。

• 實(shí)驗(yàn)二：原子力顯微鏡形貌成像及分析，典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括：軟磁盤或光盤等常規(guī)樣品形貌成像及分析、光柵樣品的形貌成像及關(guān)鍵尺寸測(cè)量、納米臺(tái)階的測(cè)量分析。

• 實(shí)驗(yàn)三：譜曲線測(cè)量與納米力學(xué)實(shí)驗(yàn)，典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括：力梯度-距離曲線的測(cè)量分析、液體膜厚度的測(cè)量與分析。

• 實(shí)驗(yàn)四：掃描隧道顯微鏡（STM），包括形貌成像和隧道譜。（需增配STM模塊）

• 實(shí)驗(yàn)五：納米加工實(shí)驗(yàn)，如圖形化納米刻蝕實(shí)驗(yàn)。（需增配納米加工模塊） 

• 實(shí)驗(yàn)六：與高倍的光學(xué)顯微鏡或光譜儀器的聯(lián)用，如與光學(xué)顯微鏡聯(lián)用可實(shí)現(xiàn)從微米級(jí)到納米級(jí)分辨率的原位觀察。（需增配與光譜儀聯(lián)用模塊）。