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Electro-Damp II TMC主動(dòng)空氣消振器

參考價(jià)100000-500000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 努美(北京)科技有限公司
  • 品牌TMC
  • 型號(hào)Electro-Damp II
  • 所在地北京市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/12/6 13:44:23
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1098

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自2013年以來(lái),努美(北京)科技有限公司一直在研發(fā)和制造光源儀器,我們的光源被各領(lǐng)域的科研人員和專業(yè)工程師使用,為了解決更前沿的應(yīng)用,使用者需要更為精確的光源,這正是我們的創(chuàng)造的動(dòng)力和方向。

憑借光學(xué)、電子工程、機(jī)械工程團(tuán)隊(duì),我們創(chuàng)造了國(guó)產(chǎn)更為真實(shí)的太陽(yáng)光。這意味著您在使用太陽(yáng)光模擬器過(guò)程中都能獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。為了讓儀器變得更簡(jiǎn)單高效,我們選擇更好的材料和技術(shù)與研究人員不斷變化的需求相結(jié)合。

產(chǎn)品主要涵蓋:太陽(yáng)光模擬器、大面積太陽(yáng)光模擬、能流密度太陽(yáng)能光熱模擬、LED太陽(yáng)光模擬器、陽(yáng)光模擬、高速照明系統(tǒng)、氙燈光源、均勻光源、BRDF/BTDF透反射率測(cè)試系、定制太陽(yáng)光模擬器等產(chǎn)品。

產(chǎn)品已經(jīng)廣泛使用在大學(xué)、科研機(jī)構(gòu)、國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)中。產(chǎn)品滿足了各類應(yīng)用的需求,同時(shí)我們也擁有專業(yè)技術(shù)和售后團(tuán)隊(duì),努力為客戶提供從可行性研究到項(xiàng)目具體實(shí)施的支持,為客戶提供可靠且具有針對(duì)性的產(chǎn)品及售前售后服務(wù)。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

大面積太陽(yáng)模擬器,高功率太陽(yáng)光模擬器,聚光太陽(yáng)光模擬器,高度準(zhǔn)直太陽(yáng)模擬器,LED太陽(yáng)光模擬器,高速照明系統(tǒng),老化光源,能量密度光源

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,綜合

TMC主動(dòng)空氣消振Electro-Damp II

Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對(duì)原始系統(tǒng)的*全重新設(shè)計(jì),增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個(gè)專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用(如顯微光刻、檢測(cè)和計(jì)量工具)的數(shù)字用戶界面。


半導(dǎo)體制造工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出了相互矛盾的要求。為了應(yīng)對(duì)地面噪音,系統(tǒng)必須足夠柔軟,以有效地過(guò)濾地面振動(dòng),阻止其到達(dá)隔振表面。同時(shí),系統(tǒng)必須足夠堅(jiān)硬,以應(yīng)對(duì)工作臺(tái)的力,以便工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩(wěn)定。

TMC主動(dòng)空氣消振器

除了采用慣性、主動(dòng)反饋?zhàn)枘嶂猓?/span>Electro-Damp II還使用信息前饋來(lái)進(jìn)一步改善系統(tǒng)響應(yīng)。前饋從工作臺(tái)控制器獲取關(guān)于工作臺(tái)位置和加速度的信息,然后處理這些數(shù)據(jù),以向有效載荷提供力驅(qū)動(dòng),從而大大減少了由工作臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)。系統(tǒng)可以以數(shù)字方式讀取前饋信息,作為雙極性模擬信號(hào),或通過(guò)讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數(shù)字控制器還可以使用工作臺(tái)測(cè)試模式自動(dòng)調(diào)整前饋所需的參數(shù)。這使得在初始安裝時(shí)或在更改有效載荷之后能夠快速簡(jiǎn)便地進(jìn)行設(shè)置。

Electro-Damp II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)與電子伺服閥一起使用(適用于重型、低加速度應(yīng)用,如CMM)、只與電磁驅(qū)動(dòng)一起使用(適用于使用高加速度的較輕工作臺(tái))或與兩者結(jié)合使用(適用于*苛刻的應(yīng)用)。

TMC主動(dòng)空氣消振Electro-Damp II特點(diǎn)

●六自由度主動(dòng)減振系統(tǒng)

●非接觸式電子高度控制

●數(shù)字控制器

●前饋輸入校正由工作臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)

●高力電磁執(zhí)行器可單獨(dú)提供或被集成在系統(tǒng)中

●減少有效載荷運(yùn)動(dòng)和由工作臺(tái)引起的運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定時(shí)間

●提高吞吐量、分辨率和產(chǎn)量

●模塊化設(shè)計(jì)允許用戶*定一個(gè)完整的單元或組件,以便OEM集成

●自動(dòng)調(diào)整前饋參數(shù)以減少設(shè)置

規(guī)格

通用

穩(wěn)定時(shí)間

0.2秒**

主動(dòng)自由度

6

高度控制精度

< 10 µm at sensorsd>

線性執(zhí)行器(水平和垂直)

直流電阻

5 Ω

力常數(shù)

高達(dá)12磅/安 | 55牛/安

最大連續(xù)力

25磅| 110牛

峰值力@ 7 A

87磅| 385牛

電氣時(shí)間常數(shù)

2.6毫秒

行程

0.25英寸 | 6.4毫米

橫向間隙

0.09英寸 | 2.3毫米

雜散場(chǎng)

< 1 G @ 2 in.d>

尺寸(寬 x 深 x 高)

2.8 x 6.8 x 4.5英寸
71 x 173 x 114 mm

閥門(僅限主動(dòng))

閥門類型

比例E/V伺服

控制類型

壓力或氣流

最大流量

1.5 SCFM

耗氣量(4個(gè)隔振器)

< 2 SCFM (no stage motion)d>

- 3 dB響應(yīng)

≤10 Hz(典型值)。

高度控制傳感器

輸入

非接觸式感應(yīng)(渦流)

電子配置

雙線式NAMUR
三線30或18毫米直徑

范圍

標(biāo)稱15毫米,用于30毫米電線
標(biāo)稱6毫米,用于18毫米電線

分辨率

< 1 µmd>

被動(dòng)氣動(dòng)安裝座

標(biāo)準(zhǔn)承重能力

1,000、2,500、3,300、5,700磅@ 80 PSI

阻尼(10:1)

< 3 sd>

DC-2020數(shù)字控制器

處理器

雙核:
DSP @ 150 MHz & Cortex M3 @ 75 MHz

模擬I/O

32/24通道(16/16位)

采樣率

標(biāo)稱值為5 kHz

前面板

電源開(kāi)關(guān)
3色狀態(tài)指示燈
以太網(wǎng)RJ-45
MicroSD卡插槽
2個(gè)BNC插座(每個(gè)都可以作為輸入端或輸出端)
2個(gè)USB 2.0端口(B型和Micro B型)
FW升級(jí)按鈕

后面板

電源輸入
模擬I/O插座
氣動(dòng)端口
以太網(wǎng)RJ-45
1個(gè)USB 2.0
RS-232 DB 9
繼電器插座

用戶界面

通過(guò)USB或以太網(wǎng)的GUI

電源

90-240 VAC,50-60 Hz,最大100 W

尺寸(寬 x 深 x 高)

16.8 x 9.0 x 1.75英寸
427 x 229 x 45 mm
1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)RETMA單元

功率放大器

通道

8

每個(gè)通道的最大電流

7 A

輸入

線性

峰值功率

總共700瓦

冷卻

環(huán)境,強(qiáng)制通風(fēng)

保護(hù)

可復(fù)位保險(xiǎn)絲、電子熱保護(hù)、過(guò)流、欠壓

操作

遙控或手動(dòng)

尺寸

1 RETMA機(jī)架單元高度 x 15英寸(381毫米)深

 


                                                                                                                                                                          

應(yīng)用說(shuō)明

Electro-Damp®

Precitech的Freeform L超精密機(jī)床上使用PEPS II-VX進(jìn)行3軸(XYZ)測(cè)量

TMC主動(dòng)空氣消振器





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