全自動超聲清洗機

適用材料：Si、SiC、砷化鎵、氧化鎵、氮化鎵、玻璃、石英、基板、陶瓷、InP、藍寶石、鈮酸鋰、鉭酸鋰等

適用晶片尺寸：2~12寸（方片/圓片）

清洗方式：藥劑超聲+水超聲

適用工藝段：研磨后、粗拋后、精拋后、CMP后、減薄后等工藝

全自動超聲波清洗機設備配置：

機架：SUS304

外殼：SUS304鏡面板

藥液管路：根據藥液適配

槽材質：SUS316L  2mm

水槽材質：PPN 10T

純水管路：Cl-PVC

排氣：SUS304

工藝槽功能：加熱+循環(huán)過濾+拋動+超聲

水槽功能：噴淋+溢流+鼓泡+快排

機械臂：SUS316

控制方式：PLC+觸控屏（或PC+觸控）

質保：12個月

槽體功能詳細介紹：

工藝堿超聲槽

2 槽體尺寸：設計確認

2 溶液：堿性洗劑

2 工藝溫度：RT -80±2℃ 

2 槽材質：SUS316L折彎焊接加工而成，槽底傾斜設計，加熱溢流循環(huán)超聲結構；

2 加熱方式：通過式加熱；加熱器不放置于槽底，采用專用器件懸掛于外壁兩側，間接加熱藥液。槽底無加熱器，若采用槽底加熱器將會對超聲效果有影響；

2 循環(huán)：溢流出的溶液通過泵從底部注入工作槽（循環(huán)管路中設置有過濾裝置，過濾精度0.5um），使得藥液溫度更加均衡，保持工藝的穩(wěn)定性。循環(huán)泵采用進不銹鋼泵；

2 上液方式：自動供液；設備后部設有自動供液裝置一個泵對應兩個桶；共兩種洗劑；其中1#和2#洗劑相同；

2 槽體內設置氮氣液位傳感器，分別為低、中、高液位；低于低液位報警防止無液干燒；中與高液位之間為工作液位，低于中液位自動補液，高于高液位黃燈亮警示操作人員；高于高液位聲光報警，漏液警報；

2 超聲方式：進口超聲系統(tǒng)，功率可調；

2 計時功能：按下“開始”按鈕，倒敘計時，可在觸摸屏上直觀顯示工藝時間。設定精度1s。

2 排液方式：自動重力排放，排液口增加過濾裝置

2 槽蓋：配置有不銹鋼自動槽蓋

QDR槽

2 清洗液：DIW

2 槽體尺寸：設計確認 

2 槽體材質：德國進口10mmNPP板焊接而成

2 藥液溫度：RT

2 供水方式：自動,流量壓力可調

2 排放方式：快排，直排至廠務。

2 注水時間＜30S，排放時間≤5S

2 槽體形狀 : 方形V 型四邊溢流，噴嘴約往槽體45°傾斜，充分清洗硅片；槽體下方配有緩沖槽，廢水先排至緩沖槽后在進行排放

2 工藝流程：放入工件→開始噴淋,同時快排閥打開→底部注水，同時快排閥關閉，氮氣鼓泡打開→溢流漂洗＋氮氣鼓泡→快排閥打開，快速排放，一次沖洗快排工藝結束

2 工藝時間：1～9999秒可設定。循環(huán)沖洗次數、時間等可在觸摸屏上進行設定并聲光報警提示

2 上水流量、壓力可調

2 排放口設有濾網防止物件堵塞管路；排放管路設置廢水回收管路；

               2 槽體底部設有勻流板