高精度和高穩(wěn)定性

☆ 探頭分辨率提高到納米級，有效分辨率22m(0.022um)有掃描軸最小步距 1um，掃描時測量頭移動樣品不動，減少氣流和震動影響高剛性低熱膨脹系數(shù)花崗石平臺和構(gòu)件，熱源隔離設計古

運動系統(tǒng)采用磁懸浮，超精密導軌

控制系統(tǒng)采用光柵尺全閉環(huán)反饋控制☆

高取樣密度:測量時每截面可達5萬個取樣點，每毫米 1000點顏色無關和亮度無關的測量方法，抗干擾能力強，環(huán)境光影響低古高重復精度(ㄑ0.1um 于標準量塊上)，人為誤差減少

22高速度，探頭采樣頻率靜態(tài) 2000Hz，動態(tài)900Hz

★兩點基板傾斜修正功能

☆數(shù)字傳輸:抗干擾，自動糾錯，準確度高

高靈活性和適應性

☆ 大樣品測量:測量臺面尺寸達540x500mm，更大可定制★厚板測量:高達80mm，Z軸可調(diào) 35mm，探頭可調(diào)45mm☆ 微小目標測量:可測量寬度 10um 的目標

★ LED 光源:壽命長

古快速更換被測物:直接擺放被測物，速度快

快速轉(zhuǎn)換程序:自動記錄最近程序，一鍵切換適合多生產(chǎn)線共享

古測量原理受環(huán)境、材料影響小，可測量各種類型的漿料測量自動適應基板顏色和反光度，自動修正基板傾斜

統(tǒng)計分析功能強大

☆Xbar-R 均值極差控制圖、分布概率直方圖平均值、標準差、CPK等常用統(tǒng)計參數(shù)按被測產(chǎn)品獨立統(tǒng)計，可追溯性品質(zhì)管理，可記錄產(chǎn)品條碼或編號，由此追蹤到該編號產(chǎn)品當時的印刷、漿料、鋼網(wǎng)、刮刀等幾乎所有制程工藝參數(shù)。規(guī)格參數(shù)可自主設置

制程優(yōu)化分類統(tǒng)計，可根據(jù)不同印刷參數(shù)比如刮刀壓力、速度、脫網(wǎng)速度、清潔頻率等，不同漿料，不同鋼網(wǎng)，不同刮刀進行條件分類統(tǒng)計，且條件可以多選?？煞奖愕馗鶕?jù)不同的統(tǒng)計結(jié)果尋找穩(wěn)定的制程參數(shù)配置