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SEM刻蝕子系統(tǒng)

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上海昊量光電設(shè)備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷,致力于引進(jìn)guo外*先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。

昊量光電堅(jiān)持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細(xì)分市場,為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進(jìn)激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)培訓(xùn),在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務(wù)!我們專業(yè)高效的商務(wù)與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗(yàn)與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準(zhǔn)時(shí)安全到達(dá)目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價(jià)值觀,昊量光電堅(jiān)持以誠信為基石,憑借高效的運(yùn)營機(jī)制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價(jià)值,實(shí)現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅(jiān)持價(jià)值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造的代理服務(wù)品牌!

 

激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計(jì)數(shù)器,專用實(shí)驗(yàn)設(shè)備,相機(jī)

價(jià)格區(qū)間 10萬-30萬 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
組件類別 其他

SEM高速刻蝕子系統(tǒng)


XENOS刻寫子系統(tǒng)是一種允許設(shè)計(jì)圖案數(shù)據(jù)并產(chǎn)生用于帶電粒子束(例如用于半導(dǎo)體光刻應(yīng)用或聚焦離子束系統(tǒng)的電子束)轉(zhuǎn)向的相應(yīng)偏轉(zhuǎn)信號的系統(tǒng)??梢赃B接到傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡、FIB或雙光設(shè)備上,升級系統(tǒng),在半導(dǎo)體或其他材料上進(jìn)行納米光刻。

高速刻寫


可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)40MHz的像素速率。由于采用了智能寫入算法,可以考慮當(dāng)前SEM的有限偏轉(zhuǎn)帶寬。優(yōu)化的數(shù)據(jù)傳輸和穩(wěn)定時(shí)間計(jì)算與高寫入速度相匹配,以提供快速寫入的所有優(yōu)點(diǎn)。


智能且通用的格式


使用三階多項(xiàng)式掃描邏輯,可以僅基于硬件以Max速度生成和寫入這些多項(xiàng)式。因此,圓形、環(huán)形或橢球體可以由同心的單像素環(huán)書寫,通常在曝光過程中不需要消隱。并且,可以用Min的數(shù)據(jù)開銷和傳輸時(shí)間來實(shí)現(xiàn)理想的寫入速度和近似質(zhì)量。此外,與結(jié)構(gòu)的多邊形部分的光柵掃描相比,偏轉(zhuǎn)信號的正弦形狀消耗的偏轉(zhuǎn)帶寬要小得多。同時(shí),寫入算法對稱地使用X軸和Y軸的帶寬。


高靈活性


模塊化系統(tǒng)可以進(jìn)行配置,以滿zu您的需求。邏輯配置和DSP內(nèi)核可以在幾分鐘內(nèi)更新,以提供新功能。


配置高,應(yīng)用界面友好


完整的偏轉(zhuǎn)信號生成是在每軸16/32位的可編程邏輯器件中實(shí)現(xiàn)的。特別是場校正不使用帶寬限制的乘法模擬DAC,而是數(shù)字構(gòu)建的,工作到Max寫入速度,而在產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)信號中沒有任何失真。

控制軟件ECP基于Linux或Windows使用,CAD部分可在工作組中自由使用。



SEM刻蝕子系統(tǒng)應(yīng)用圖例:



** 進(jìn)一步配置要求,詳情可咨詢上海昊量光電設(shè)備有限公司。


更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。




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