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薄層方塊電阻測量儀-非接觸式

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海昊量光電設(shè)備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷,致力于引進guo外*先進性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細分市場,為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術(shù)服務(wù)團隊成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)培訓(xùn),在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務(wù)!我們專業(yè)高效的商務(wù)與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準(zhǔn)時安全到達目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值,實現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造的代理服務(wù)品牌!

 

激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設(shè)備,相機

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 0-5萬
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

薄層方塊電阻測量儀-非接觸式


昊量光電新推出用于導(dǎo)電薄膜和薄金屬層方塊電阻測量的非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀EddyCus TF Series,這款非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀可以非接觸式實時測量,對導(dǎo)電薄膜和金屬方塊電阻精確測量,表征已被隱藏和封裝的導(dǎo)電層,并把測量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出。 可用于方塊電阻,方阻測量,四探針測試,四探針方阻測量。


薄層方塊電阻測量儀-非接觸式主要測試對象:

  • 鍍膜建筑玻璃,如LowE

  • 顯示器,觸摸屏和平板顯示器

  • OLED和LED

  • 智能玻璃

  • 石墨烯層

  • 光伏晶圓和電池

  • 半導(dǎo)體晶片

  • 金屬化層和晶圓金屬化

  • 電池電極

  • 導(dǎo)電涂布紙和導(dǎo)電紡織品


非接觸式單點方阻測試儀EddyCus TF Lab 2020SR


EddyCus TF Lab 2020SR是非接觸式單點薄層電阻測量系統(tǒng)。該裝置包含一個渦流傳感器組,感應(yīng)弱電流到導(dǎo)電薄膜和材料。非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀試樣中的感應(yīng)電流產(chǎn)生與測量對象的片電阻相關(guān)的電磁場。電渦流技術(shù)不依賴于表面特征或形貌。此外,非接觸式單點方阻測試儀不需要如已知的2或4點探針測試(2PP, 4PP)或霍爾效應(yīng)或范德波測量一樣進行任何形式的充分的樣品接觸或備樣。非接觸式單點方阻測試儀既不需要設(shè)置測試結(jié)構(gòu),也不受表面粗糙度或非導(dǎo)電封裝或鈍化層的影響。此外,測量不會對被測薄膜產(chǎn)生物理影響。渦流儀器不存在機械磨損,使用壽命長。它的獨立性與接觸質(zhì)量和它的高速允許實現(xiàn)高重復(fù)性和準(zhǔn)確性,有利于在研發(fā)和測試實驗室的各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。EddyCus工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導(dǎo)出功能的SURAGUS軟件驅(qū)動,也可以由SURAGUS軟件開發(fā)套件驅(qū)動的客戶軟件驅(qū)動。


非接觸式單點方阻測試儀軟件和設(shè)備控制:

  • 非常用戶友好的軟件

  • 直觀的觸摸顯示導(dǎo)航

  • 實時測量板材電阻和層厚

  • 軟件輔助手動映射選項

  • 各種數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出選項


非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀產(chǎn)品規(guī)格表

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
substratesFoils, glass, wafer, etc.
Substrate area8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides)
Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement range of metal films (e.g. copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance (cf. our calculator))
Device dimensions (w/h/d)11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight10 kg
Further available featuresSheet resistance measurement / metal thickness monitor
 VLSRLSRMSRHSRVHSR

6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 20001,000 – 200,000
Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%
Repeatability (2σ)< 0.3%< 0.5%< 0.3%
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistanc

非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀

非接觸式方阻成像儀EddyCus TF Map 2530SR




EddyCus TF Map 2530SR是一種非接觸式薄層電阻映射系統(tǒng)。該設(shè)備配備了一個運動的渦流傳感器,每次掃描可測量高達90000 (300 x 300)測量點的方塊電阻。由于這種技術(shù)不需要與標(biāo)本進行物理接觸,該設(shè)備可以在飛行運動中進行測量。此外,非接觸式單點方阻測試儀具有很高的準(zhǔn)確性,因為它是獨立于任何接觸質(zhì)量。非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀樣品中測量點的高密度確保了沒有遺漏任何效果或缺陷。此外,綜合分析功能支持生產(chǎn)和研發(fā)實驗室中各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。

產(chǎn)品規(guī)格:

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
SubstratesWafer, glass, foils etc.
Max. scanning area12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ())
Scanning pitch1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples)100 measurement points in 0.5 minutes
10,000 measurement points in 3 minutes
Scanning time8 inch / 200 mm x 200 mm in 1 to 10 minutes (1 – 10 mm pitch)
12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 6 minutes (2.5 – 25 mm pitch)
Device dimensions (w/h/d)31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 mm x 486 mm x 850 mm
Weight90 kg
Further available featuresMetal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor




 VLSRLSRMSRHSRVHSR

6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 2,0001,000 – 200,000
Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%
Repeatability (2σ)< 0.5%< 1%< 0.5%
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistance

便攜式方塊電阻測試儀

EddyCus TF便攜式1010SR專用于工業(yè)環(huán)境中的接觸片電阻測量。它使各種行業(yè)的手工質(zhì)量保證成為可能。

Measurement technologyEddy current sensor
Measurement modeRealtime at constant distance  / contact
SubstratesGlass, foils etc.
Substrate sizesFlat samples > 150 mm x 150 mm (6 inch x 6 inch)
Curved editions are available for several applications (windshields etc.)
Measurement spot / high sensitivity zone40 mm diameter (1.6 inch)
PowerLithium ion battery up to 20 h
Sheet resistance range (five setups available)Type very low:    0.001 – 0.1 Ohm/sq
Type low:             0.04 – 0.1 Ohm/sq
Type standard:        0.3 – 30 Ohm/sq
Type high:               0.3 – 50 Ohm/sq
Type very high:       0.3 – 100 Ohm/sq
Thickness measurement of thin films (e.g. copper)Additional feature, available range is 5 nm – 500 µm (in accordance with sheet resistance)
Emissivity rangeAdditional feature, available range is 0.003 – 0.5
Accuracy (for planar solid surfaces, e.g. glass)0.001 – 50 Ohm/sq:  < 3%
50 – 100 Ohm/sq:     < 5%
DISPlay2.8 inch colored touch screen
Device dimensions (w/h/d)3.5” x 7” x 1.9” / 87 mm x 178 mm x 48 mm
Weight340 g
InterfacesBluetooth (optional) + data center


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關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。




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