美國Entegris化學(xué)溶液流量控制器高精確度 Entegris NT6510/NT6520 特點(diǎn)介紹

InVue™ NT6510 在使用時(shí)提供精確的化學(xué)品流量控制。該流量控制器設(shè)計(jì)用于中低流量范圍（15 - 1250 mL/min）的化學(xué)品混合和分配。

與一般流量控制器相比，它可以更精確地控制容易產(chǎn)生氣泡的化學(xué)溶液。

內(nèi)置壓力傳感器，可同時(shí)輸出兩種輸出（流量、壓力）

設(shè)計(jì)緊湊，不占用太多空間且易于安裝

先進(jìn)過程控制的出色再現(xiàn)性

快速響應(yīng)以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的分配率

LED狀態(tài)和觸點(diǎn)報(bào)警輸出 

美國Entegris化學(xué)溶液流量控制器高精確度 Entegris NT6510/NT6520 規(guī)格參數(shù)

流量控制范圍 10-100%滿量程 

流量精度 （23℃純水校準(zhǔn)） ±1.0%滿量程 

流量重現(xiàn)性 ±0.5%滿量程 

壓力測(cè)量范圍 0至414kPa 

壓力精度 ±1.0%滿量程 

運(yùn)營壓力 69 至 414 kPa 

所需的最小壓差* 69kPa 

輸出信號(hào) 4 至 20 mA，2 點(diǎn)（流量和壓力） 

響應(yīng)時(shí)間 不到3秒 

耐壓性 690千帕 

使用流體溫度 10°C 至 65°C 

電源 24 伏直流電 (± 10%) @ 1.2 安 

設(shè)定點(diǎn)輸入 4-20 mA、0-5 VDC 或 0-10 VDC 

住房標(biāo)準(zhǔn) IP64 

重量 約1.8公斤