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MS600A 日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 高排出性能

參考價 8507
訂貨量 ≥1
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光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械加工設備、環(huán)境試驗設備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、物流保管用品、化學用品、FA自動化

泵軸位置 臥式 輸送介質 油泵
葉輪數(shù)目 多級 應用領域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 高排出性能

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 高排出性能




MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

特點

  • 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。

  • 采用ULVAC設計的轉子軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

  • 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結爐、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

  • 醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

規(guī)格

型式MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1m3/h115560980
到達壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2kW2.43.13.1
冷卻水量L/min>4.0
Purge gas量 *1SLM0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
噪音值 *1dB(A)616264
吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質量 *4kg139241264
適用規(guī)格CE、cTUVus
標準附屬品Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件Power supply:200V Class or 400V Class
Material of seal:FKM or FFKM
外部選配件Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1:到達壓力時
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4:Including a silencer



ULVAC 廠商介紹:

1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司,他們希望“通過真空技術為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻”。

自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設備,ULVAC接受了利用技術進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術創(chuàng)造新價值

ULVAC集團是一家企業(yè)集團,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術,包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團內,零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。

通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領域和不斷發(fā)展的技術。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應各領域的需求,為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科(寧波)有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(寧波)有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司




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