半導(dǎo)體濕法腐蝕清洗設(shè)備,wet bench,晶圓清洗機,RCA清洗機,重腐蝕機,刻蝕機,wet ETCHing,供液裝置,桶清洗設(shè)備,灌裝,鈮酸鋰/鉭酸鋰清洗機,氧化鉀清洗機,lift-off,去膠,去蠟,刷洗機,基板清洗機,掩膜版清洗機,mask
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,汽車,綜合 |
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全自動槽式拋光后清洗機主題構(gòu)造
設(shè)備結(jié)構(gòu)外型,整機主要由機架、工藝槽體、機械手系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。
由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強,設(shè)備需要做防腐處理:(1)設(shè)備機架采用鋼結(jié)構(gòu)骨架包塑/SUS304;(2)殼體采用PP/SUS304板材焊接成型,制程區(qū)由耐酸堿PP/SUS304板材組合焊接而成:(3)電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)隔離;(4)槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料;(5)機械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理或為鐵氟龍加工件。
設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)由引風(fēng)窗和排風(fēng)口組成,排風(fēng)口位于設(shè)備后頂部。排風(fēng)板為可拆卸可調(diào)結(jié)構(gòu),以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶。排風(fēng)口處設(shè)有自動調(diào)節(jié)風(fēng)門,即上電打開風(fēng)門,斷電關(guān)閉風(fēng)門(也可設(shè)置為通風(fēng)常開,設(shè)備斷電也打開)。具有風(fēng)壓檢測功能。設(shè)備前、后下方均設(shè)有維護門。臺面為多孔結(jié)構(gòu),便于臺面上沖洗水、液的排出。
工藝槽功能:加熱、超聲、拋動、循環(huán)、過濾、自動供液
QDR:噴淋、溢流、鼓泡、快排
全自動槽式拋光后清洗機質(zhì)量保證措施
工廠檢驗
l 工廠檢驗是質(zhì)量控制的一個重要組成部分,賣方需嚴(yán)格進行廠內(nèi)各生產(chǎn)環(huán)節(jié)的檢查和試驗。賣方提供的合同設(shè)備須簽發(fā)質(zhì)量證明、檢驗記錄和測試報告,并且作為交貨時質(zhì)量證明文件的組成部分。
l 質(zhì)量檢查的范圍包括原材料和元器件的進廠,部件的加工、組裝、試驗、出廠試驗。
l 賣方檢驗的結(jié)果要滿足本協(xié)議相關(guān)質(zhì)量的要求,如有不符之處或達不到標(biāo)準(zhǔn)要求,賣方要采取措施直至滿足要求,賣方發(fā)生重大質(zhì)量問題時將情況及時通知買方。
設(shè)備監(jiān)造
l 為了保證產(chǎn)品的內(nèi)在質(zhì)量,買方在設(shè)備的制造過程中需進行產(chǎn)品生產(chǎn)過程的監(jiān)造和過程檢驗,尤其對關(guān)鍵的部件和材料。
l 賣方在制造過程中根據(jù)實際的生產(chǎn)進度,通知買方設(shè)備的階段監(jiān)造內(nèi)容和檢驗項目,無論買方是否派人參與監(jiān)造和檢驗,都不能免除賣方的任何合同責(zé)任。
l 監(jiān)造、檢驗的依據(jù)為雙方簽署的技術(shù)協(xié)議書、經(jīng)買方確認(rèn)過的賣方的設(shè)計圖紙和相關(guān)的國家標(biāo)準(zhǔn)。
l 監(jiān)造、檢驗應(yīng)盡量結(jié)合賣方的實際生產(chǎn)過程進行,若買方的監(jiān)造代表不能按時到達,同時又沒有通知賣方繼續(xù)等待,為了保證交貨日期,賣方可正常進行生產(chǎn)和檢驗工作,其檢驗結(jié)果有效,但監(jiān)造代表有權(quán)事后了解、查閱檢驗結(jié)果。
l 監(jiān)造過程中所做出的任何檢驗都不作為設(shè)備最后驗收的依據(jù),設(shè)備的最后驗收以調(diào)試階段雙方簽署的驗收報告為準(zhǔn)。
l 為了方便工作的開展,買賣雙方工作聯(lián)絡(luò)人,以方便聯(lián)系和溝通,使賣方及時了解買方的變化,買方及時了解賣方的生產(chǎn)情況。
l 買賣雙方簽訂商務(wù)合同后,雙方共同確認(rèn)設(shè)備的監(jiān)造、檢驗大綱。
質(zhì)量保證
l 設(shè)備整機的質(zhì)量保證期為設(shè)備調(diào)試運轉(zhuǎn)正常,性能達標(biāo)驗收后(即驗收文件簽訂之日起)12個月。
l 賣方供應(yīng)的設(shè)備應(yīng)符合相應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)規(guī)范的要求,賣方保證所提供的設(shè)備是合格的、全新及可靠的,應(yīng)滿足雙方確認(rèn)的設(shè)計條件和工藝技術(shù)規(guī)格要求,賣方提供的設(shè)備應(yīng)滿足買方的生產(chǎn)需要。
l 設(shè)備在安裝、調(diào)試期間發(fā)生的任何質(zhì)量問題,由賣方負(fù)責(zé);在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)的質(zhì)量問題,買賣雙方應(yīng)共同檢查原因;如果質(zhì)量問題是由于賣方的原因造成的,賣方應(yīng)及時免費修理或更換,并承擔(dān)相關(guān)責(zé)任。