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ZDM系列真空鍍膜機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海喆圖科學儀器有限公司
  • 品牌 GEMTOP/喆圖
  • 型號
  • 產地 上海市奉賢區(qū)
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/3/5 16:31:03
  • 訪問次數(shù) 1067

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上海喆圖科學儀器有限公司產品主要有臺式真空干燥箱,實驗室真空干燥箱,高精度真空干燥箱,數(shù)顯真空干燥箱,數(shù)顯電熱鼓風干燥箱,智能電熱鼓風干燥箱、生化培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、恒溫恒濕箱、光照氣候箱、人工氣候箱、二氧化碳培養(yǎng)箱、電熱恒溫培養(yǎng)箱、隔水式恒溫培養(yǎng)箱、鼓風干燥箱、立式鼓風干燥箱、高溫鼓風干燥箱、真空干燥箱、熱空氣消毒箱(干烤滅菌器)、干燥培養(yǎng)兩用箱、恒溫水槽、恒溫水浴鍋、低溫恒溫水槽、恒溫加熱板、一體馬弗爐、搖床等科研儀器設備。公司座落在擁有深厚的近代城市文化底蘊和眾多歷史古跡的名城—上海,它是中國國家中心城市,中國的經濟、金融中心。我公司致力于科研儀器行業(yè)的發(fā)展,專業(yè)從事實驗儀器的研發(fā)設計、生產、為一體的高科技企業(yè)。公司秉著“創(chuàng)新、質量、服務”的企業(yè)理念,贏得了諸多用戶的信任和業(yè)界相傳的口碑。目前我們的產品已涵蓋教育、科研、醫(yī)療、衛(wèi)生、檢疫、制藥、食品、農業(yè)、化工、石油、環(huán)保等行業(yè),并與眾多企業(yè)和高等院校及科研事業(yè)單位精密合作。

公司依托上海得天獨厚的資源優(yōu)勢,立足“高起點,高技術,高質量,高效率,高效益”的“五高”建設方針,發(fā)揚“艱苦奮斗、開拓務實”的企業(yè)精神和“我是喆圖人”的團隊精神,把質量至上戰(zhàn)略、人才發(fā)展戰(zhàn)略、感動客戶戰(zhàn)略作為喆圖發(fā)展戰(zhàn)略,堅持技術和管理創(chuàng)新,使喆圖科儀朝著科技超常規(guī)跨越式的道路方向發(fā)展。

公司重視企業(yè)文化,企業(yè)文化是價值理念和實踐行為的高度統(tǒng)一,是公司多年來長期生產經營過程中逐步形成的,喆圖模式是公司企業(yè)文化建設的有效載體,“喆圖科學、喆圖儀器、喆圖為您”品牌形象的塑造是喆圖企業(yè)文化建設的具體體現(xiàn)。

作為中國科研儀器行業(yè)的生產研發(fā)型企業(yè),喆圖人自覺肩負“助力科學研究”的企業(yè)使命,以“員工幸福、客戶滿意、成人成己、益國利民”為企業(yè)宗旨,通過實施“儀器生產規(guī)?;?、技術裝備現(xiàn)代化、隊伍專業(yè)化和管理手段信息化”四化工程,提升了“喆圖”品牌價值,形成了“真誠、感恩、責任、堅持”的喆圖核心價值觀,為企業(yè)的發(fā)展提供了強大的精神動力。

我公司是一個有激情和夢想的團隊,我們秉承“以人為本、盡責誠信、創(chuàng)新共贏、奉獻社會”的企業(yè)理念,始終不渝的堅持主觀與客觀的結合,使團隊和員工充滿創(chuàng)造的激情。

公司立足于重實際、辦實事、見實效,把文化理念融入到生產建設和質量管理的各個環(huán)節(jié),致力于用文化提升領導力、執(zhí)行力和凝聚力,以文化促進生產力,以軟實力提升公司整體發(fā)展水平。如今的喆圖企業(yè)文化已彰顯出無窮魅力,正在推動喆圖科儀 不斷向前!

 

喆圖品牌釋義:

喆:【前漢·敘傳】圣喆之治,意為明智,有智慧。圖從字形上理解是一個非常吉利的字,左右結構兩個“吉”組合而成,寓意大吉大利,我公司據此將“喆”引申表達為一個愿望、思想。

圖:【尚書·太甲上】慎乃儉德,惟懷永圖;視履考祥,其旋元吉。意為要重視節(jié)儉之德,懷有長遠的謀劃。天高地遠,人生其中,艱難叢生,困苦迭出,無可回避。處此艱難旅途的君子,應該以內心的和悅柔順,去應付外界的剛健強勁。剛柔相濟,內外相應,天人和諧。如此,方能逢兇化吉,順暢無憂。公司的“圖”取自大展宏圖,勵精圖治,有寄寓公司產品精益求精之意,表示一種抱負、前程。

“喆圖”品牌可用“愿望、前程、奮斗”三個詞語表達,喆圖人愿充分利用聰明智慧,做事精益求精。以達成喆圖愿景的美好愿望而謀劃,創(chuàng)造更大的經濟、社會、人文價值,為追求喆圖宗旨來做為抱負而奮斗,使得員工幸福、客戶滿意、成人成己、利國利民。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

生化培養(yǎng)箱,恒溫恒濕培養(yǎng)箱,人工氣候培養(yǎng)箱,光照培養(yǎng)箱,霉菌培養(yǎng)箱,鼓風干燥箱,真空干燥箱,陶瓷纖維馬弗爐,箱式電阻爐,電熱恒溫水浴鍋

產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
應用領域 化工,生物產業(yè)

用途概述

ZDM系列真空鍍膜機HMDS化學名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機又稱HMDS基片預處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行,沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料,為基片在涂膠前改善表面活性,增加光刻膠與基底的粘附力的設備,也可用于晶片其它工藝的清洗,尤其在芯片研發(fā)和生產領域應用更加普及。

產品特點

l ZDM系列真空鍍膜機采用PLC工控自動化系統(tǒng),人機界面采用觸摸屏,可靠性高,操作智能方便;

l PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫、任意定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準確可靠

l 智能化觸摸屏控制系統(tǒng),可根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間;

l 采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內密封性好;

l 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質,內膽不銹鋼,無易燃易爆裝置,無發(fā)塵材料;

l 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液態(tài)涂布均勻,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液。

l
去水烘烤和增粘(疏水)處理一機完成無需轉移,有效規(guī)避HMDS泄露的;

l HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,使真空箱密封性好,確保HMDS氣體外漏

l 多余的HMDS蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,確保安全以及環(huán)保


HMDS預處理系統(tǒng)的必要性

HMDS涂到晶片表面后,經真空鍍膜機加溫后可反應生成以硅氧烷為主體的化合物,

它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,起著耦合作用,可更好與光刻膠結合,保證涂膠工藝不影

響光刻效果和顯影。

HMDS本身是表面改性,不會涂在圓片表面,HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果。

HMDS處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時內完成涂膠。

HMDS真空鍍膜機預處理程序

HMDS(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,真空鍍膜機預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真空度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到一定低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入通過氮氣的HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。

充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。

技術參數(shù)

型號

ZDM-90V

ZDM-125V

ZDM-215V

電源電壓

AC 220V 50Hz

控制系統(tǒng)

PLC智能控制

儀表控制

彩色觸摸屏

控溫范圍

RT+10-200℃

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動度

±0.1

真空度

≤133pa

內膽尺寸

450*450*450

500*550*500

550*550*650

容積

90L

125L

210L

載物托架

2層

3層

3層





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