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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>其它測量/計量儀器>真空計>CDG025D 電容薄膜真空計INFICON (英福康)

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CDG025D 電容薄膜真空計INFICON (英??担?/a>

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杭州域勢科技有限公司,專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力監(jiān)測控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案,公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌,結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案,旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進度。

我們代理經(jīng)銷的品牌:ALICAT、VOGTLIN、MKSFischer、KOBOLDVAT。

我們的產(chǎn)品:

1.   熱式氣體質(zhì)量流量計及控制器

2.   層流式質(zhì)量流量計及控制器(氣體)

3.   液體質(zhì)量流量計及控制器

4.   壓力控制器、壓力傳感器

5.   真空計及真空閥門

6.   真空配件及Feedthrough

我們服務(wù)的領(lǐng)域:

1.   生物制藥、生命科學(xué)研究

2.   工業(yè)自動化及汽車制造

3.   新能源制造(鋰電、光伏、氫能)

4.   半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體行業(yè)

5.   科研及航天航空研究

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

氣體質(zhì)量流量計,液體質(zhì)量流量計、壓力計,閥門、流量控制解決方案

測量原理 電容薄膜 產(chǎn)地類別 進口
價格區(qū)間 1萬-2萬 量程 0.1-1000mbar
應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件 真空接口 KF16

電容薄膜真空計INFICON (英福康)



電容薄膜真空計INFICON (英??担?width=


CDG025D電容薄膜真空計屬于INFICON薄膜規(guī)系列。測量精度可達(dá):0.2%(讀數(shù)精度)、自帶溫度補償功能,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整功能。選用防腐蝕陶瓷傳感器可應(yīng)用于腐蝕性真空環(huán)境。在腐蝕性環(huán)境中也能保持良好的零點穩(wěn)定性;預(yù)計壽命可達(dá)到數(shù)百萬個加壓循環(huán),包括突發(fā)大氣壓。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅固的機械設(shè)計和數(shù)字電子元件可有效過濾電磁干擾,保持長期的穩(wěn)定測量。


技術(shù)特點:

· 100 mTorr 1000 Torr 滿量程可選

· 電源接通后快速穩(wěn)定

· 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

· 可選防腐蝕陶瓷傳感器

· 優(yōu)秀的電磁屏蔽技術(shù)保持信號的長期溫度

· 具有溫度補償功能

· 傳感器防污染保護功能

· 一鍵調(diào)零功能


典型應(yīng)用:

· 用于蝕刻、CVD、PVD ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 數(shù)據(jù)存儲和顯示器制造設(shè)備

· 工業(yè)真空設(shè)備

· 高度精確的壓力測量控制


電容薄膜真空計INFICON (英??担?/strong>

技術(shù)參數(shù):

參數(shù)

單位



參數(shù)值

Full scale (FS)      

滿量程可選范圍

Torr / mbar



1000 Torr / 1100   mbar

500 ... 10 Torr /   mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度

% of reading



0.2%讀數(shù)精度

分辨率

percent FS



0.003%

Lowest reading

zui低讀數(shù)




0.01 % FS(滿量程的)

suggested Reading

建議參考讀數(shù)




0.05 % FS (滿量程的)

Control pressure

控制壓強時建議讀數(shù)范圍




0.5 % FS (滿量程的)

輸出信號(模擬)

V (dc)



0 … +10V

Supply voltage (dc)

供電電源

V (dc)



+14 ... +30 V

Power consumption

功率




≤1 W

響應(yīng)時間

ms



30

Temperature溫度





Operation (ambient)

操作溫度

°C



+5 ... +50 °C

Bakeout(at flange3)

環(huán)境溫度(在法蘭)

°C



≤110 °C

Storage

儲藏溫度

°C



–40 ... +65 °C

暴露于真空的材料




Aluminum oxide   ceramic (AI2O3),   Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

Degree of   protection      防護等級




IP 30











































尺寸圖


電容薄膜真空計INFICON (英福康)


訂貨選型


電容薄膜真空計INFICON (英??担?width=






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