CG 4100 臨界尺寸掃描電子顯微鏡
- 公司名稱 深圳市達(dá)瑞博電子有限公司
- 品牌 Hitachi/日立
- 型號(hào) CG 4100
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/23 20:10:57
- 訪問次數(shù) 413
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
|---|
HITACHI CG 4100臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）
分辨率：1.8 nm產(chǎn)量：42片/小時(shí)MAM 時(shí)間：2.8 秒級(jí)著陸精度：±1μm
Hitachi CG 4100 是一款關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡 （CD-SEM），專為半導(dǎo)體和納米技術(shù)領(lǐng)域的高性能應(yīng)用而設(shè)計(jì)。主要規(guī)格和功能包括：
分辨率：CG 4100 提供高分辨率成像功能，分辨率低至 1.8 納米，這對(duì)于詳細(xì)分析材料和半導(dǎo)體器件中的小特征至關(guān)重要。
吞吐量：該系統(tǒng)每小時(shí)可處理多達(dá) 42 片晶圓，適用于大批量制造環(huán)境。
載物臺(tái)精度：載物臺(tái)著陸精度為 ±1 微米，確保精確定位以實(shí)現(xiàn)一致的測(cè)量。
高壓操作：顯微鏡在高達(dá)150kV的加速電壓下工作，為更好的成像和分析提供高能量。
成像和分析：CG 4100 配備先進(jìn)的電子光學(xué)元件和強(qiáng)大的電子槍，可提供出色的圖像清晰度和清晰度。它還包括自動(dòng)對(duì)焦和導(dǎo)航系統(tǒng)，以提高易用性和效率。
軟件和自動(dòng)化：CG 4100 具有智能自動(dòng)化功能，包括自動(dòng)機(jī)械臂、圖像分析軟件和可定制的配置，以滿足各種用戶需求。這樣可以快速準(zhǔn)確地收集和分析數(shù)據(jù)。
模塊化設(shè)計(jì)：模塊化設(shè)計(jì)允許使用不同的探測(cè)器和載物臺(tái)進(jìn)行可定制的配置，以適應(yīng)特定應(yīng)用，例如吸收和發(fā)射光譜、高分辨率成像和能量色散光譜。
這些特性使 Hitachi CG 4100 成為各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用中詳細(xì) 3D 成像和分析的理想選擇
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