化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>SPSM系列 緊湊型手動(dòng)探針臺(tái)
室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。
緊湊型室溫手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，外接不同的測(cè)量?jī)x器，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)，用于室溫下超小芯片晶圓和器件的非破壞性測(cè)試。
SPSM系列緊湊型室溫手動(dòng)探針臺(tái)是一款經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、入門(mén)級(jí)的探針臺(tái)，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備，可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量。緊湊的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究的選擇。
特點(diǎn)
• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品
• 樣品座下方位移座可實(shí)現(xiàn)樣品座三維精細(xì)位移調(diào)節(jié)使得樣品測(cè)試和換樣更加便捷。
• 可安裝6個(gè)探針臂
• 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動(dòng)，并且可以三維微調(diào)，操作方便，扎針精準(zhǔn)，四個(gè)探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
• 探針臂采用三同軸線(xiàn)纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以?xún)?nèi)
• CCD放大倍數(shù)為180倍，工作距離為100mm
型號(hào)分類(lèi)：
| 型號(hào) | 樣品座尺寸 |
| SPSM-2 | 2英寸 |
| SPSM-4 | 4英寸 |
參數(shù)和指標(biāo)：
| 樣品座 | |
| 卡盤(pán)尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材質(zhì)： | 無(wú)氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內(nèi)圈和中間三個(gè)單獨(dú)控制的氣體吸附通道 |
| 位移行程： | X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| 固定方式： | 磁鐵吸附 |
| XYZ微調(diào)移動(dòng)行程： | XYZ-13mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂數(shù)量： | 可安裝6個(gè)探針臂（左右各3個(gè)） |
| 電學(xué)線(xiàn)纜： | 三同軸線(xiàn)纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類(lèi)型： | 直流探針 |
| 光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 50-1000倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| 顯微鏡分辨率： | 最小可識(shí)別3μm |
| 可加選件 | |
| 光學(xué)平臺(tái)/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
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