室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。
室溫電磁鐵探針臺(tái)不僅可以完成永磁鐵探針臺(tái)所能完成的測(cè)試，并且可以為樣品測(cè)試提供一個(gè)可變磁場(chǎng)，磁場(chǎng)較強(qiáng)，磁場(chǎng)均勻區(qū)較大。此款探針臺(tái)專(zhuān)門(mén)為在測(cè)量過(guò)程中需要連續(xù)磁場(chǎng)變化的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，在室溫下對(duì)芯片、晶圓和器件進(jìn)行非破壞測(cè)試。
PSEM系列室溫電磁體探針臺(tái)是一款專(zhuān)門(mén)針對(duì)室溫可變磁場(chǎng)電測(cè)環(huán)境開(kāi)發(fā)的探針臺(tái)，提供±0.6T垂直磁場(chǎng)或±0.3T水平磁場(chǎng)，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進(jìn)行重復(fù)性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和霍爾測(cè)量。
特點(diǎn)
• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，通過(guò)移動(dòng)樣品座下面的滑臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)X-Y軸±50mm的移動(dòng)行程，并且樣品座本身可以進(jìn)行三維上的精細(xì)調(diào)節(jié)，使得樣品測(cè)試和換樣 更加便捷。
• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個(gè)維度上進(jìn)行調(diào)節(jié)，配合樣品座位移調(diào)節(jié)，可滿足探針快速扎到4英寸樣品的任意位置（探針臂可安裝6個(gè)，水平磁場(chǎng)電磁鐵探針臺(tái)可安裝4個(gè)）
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以?xún)?nèi)，探針臂內(nèi)置線纜，避免雜亂的走線
• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電
• 電磁鐵支架與探針臺(tái)采用分體隔離支架，在磁體運(yùn)動(dòng)時(shí)避免振動(dòng)傳導(dǎo)到樣品上
• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附，有外圈、內(nèi)圈和中間三個(gè)單獨(dú)控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品
• CCD放大倍數(shù)為180倍，工作距離為100mm
型號(hào)分類(lèi)：
| 型號(hào) | PSEM-2H(水平磁場(chǎng)) | PSEM-2V(垂直磁場(chǎng)) | PSEM-4V(垂直磁場(chǎng)) |
| 樣品座尺寸 | 2英寸 | 2英寸 | 4英寸 |
參數(shù)和指標(biāo)：
| 樣品座 | |
| 卡盤(pán)尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材質(zhì)： | 無(wú)氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內(nèi)圈和中間三個(gè)單獨(dú)控制的氣體吸附通道 |
| 滑臺(tái) | |
| X-Y移動(dòng)行程： | 2/4寸:±50mm（水平磁場(chǎng)探針臺(tái)無(wú)滑臺(tái)） |
| 移動(dòng)精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| X-Y-Z移動(dòng)行程： | X-13mm，Y-13mm，Z-13mm |
| 旋轉(zhuǎn)度： | 360度自由旋轉(zhuǎn) |
| 移動(dòng)精度： | 10μm |
| 探針臂數(shù)量： | 垂直磁場(chǎng)電磁鐵探針臺(tái)可安裝6個(gè)；水平磁場(chǎng)探針臺(tái)可安裝4個(gè) |
| 電學(xué)線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類(lèi)型： | 直流探針 |
| 光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 10-180倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| CCD相機(jī)分辨率： | 3800萬(wàn)像素 |
| 電磁鐵組件（垂直磁場(chǎng)） | |
| 磁鐵型號(hào)： | EM-60V |
| 磁場(chǎng)大?。?br style="margin: 0px; padding: 0px; transition: all 0.5s ease 0s; box-sizing: border-box; line-height: 38px !important;"/> | ±0.6T |
| 磁鐵間距： | 30mm |
| 極柱： | 直徑60mm，標(biāo)配一副50mm純鐵極頭 |
| 循環(huán)水冷卻 | |
| 電磁鐵組件（水平磁場(chǎng)） | |
| 磁鐵型號(hào)： | EM-30H |
| 磁場(chǎng)大?。?br style="margin: 0px; padding: 0px; transition: all 0.5s ease 0s; box-sizing: border-box; line-height: 38px !important;"/> | ±0.3T |
| 磁鐵間距： | 60mm |
| 極柱： | 標(biāo)配一副60mm純鐵極頭 |
| 循環(huán)水冷卻 | |
| 可加選件 | |
| 光學(xué)平臺(tái)/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
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