XUV/EUV EUV/XUV波前傳感器
- 公司名稱 巨力光電（北京）科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 XUV/EUV
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/8/20 11:58:35
- 訪問次數 288
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
|---|
主要特點
Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射）
緊湊結構
光化性能檢測
-EUVL 等離子源
-自由電子激光
-HHG高次諧波束
實時光學調整
單個脈沖重復性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)
技術規(guī)格
波長范圍：<1nm~60nm（量子轉換涂層）
視場：9mmX6.7mm（可選更大尺寸）
動態(tài)范圍：14Bit
Hartmann 盤：precision pinholes ?75μm, 250μm pitch
傾角：±10°
XY調節(jié)范圍：±10mm
UHV兼容：CF63法蘭
Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH
(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after
(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.
Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )
Spot pattern @ λ=1.5 nm
(LCLS / Stanford)
Reconstructed intensity profile
光束測試軟件
測試基于ISO標準
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直徑 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性 | ISO 11670 |
M2 質量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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目前主要產品涉及材料科學、微納米技術、表面測量和光電器件、光伏產品、半導體器件的檢測與研發(fā)等領域。公司本著以科技為導向、以客戶為中心、以服務為宗旨，竭誠為新老客戶提供優(yōu)質的服務！
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