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AT 200M 迷你原子層沉積系統(tǒng)-可放入手套箱

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京盈思拓科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) AT 200M
  • 產(chǎn)地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2024/11/18 15:45:23
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 676

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北京盈思拓科技(Instonetech) 有限公司是材料研究領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)提供商。 Instone是Institute、Instrument、Instant的縮寫(xiě),代表公司秉承專(zhuān)業(yè)、高效的經(jīng)營(yíng)理念,為科研用戶(hù)提供技術(shù)服務(wù)。

公司深耕國(guó)內(nèi)科研市場(chǎng)近十年,以中科院等專(zhuān)業(yè)院所背景的技術(shù)力量為依托, 為國(guó)內(nèi)各大科研機(jī)構(gòu)及材料研究客戶(hù)提供科研儀器設(shè)備和專(zhuān)業(yè)技術(shù)服務(wù)。公司以代理國(guó)內(nèi)外材料化工方向的儀器設(shè)備為核心業(yè)務(wù),產(chǎn)品覆蓋材料制備、表征、光、熱、 電、磁等研究領(lǐng)域。

公司在提供專(zhuān)業(yè)儀器設(shè)備的基礎(chǔ)上,根據(jù)客戶(hù)的不同需求,提供“從0到1”的咨詢(xún)和建設(shè)服務(wù)(實(shí)驗(yàn)室設(shè)備及家具布局、通風(fēng)、潔凈及氣路等),為新能源電池、電子陶 瓷、半導(dǎo)體材料、高分子材料等用戶(hù)提供一站式解決方案。

此外,公司旗下?lián)碛杏蜒芯芗庸て脚_(tái),并擁有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)工程師為實(shí)驗(yàn)設(shè)備提供 系統(tǒng)集成服務(wù),提升科研實(shí)驗(yàn)的自動(dòng)化水平,為用戶(hù)提供增值服務(wù)。

 

技術(shù)服務(wù)、一般項(xiàng)目:技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)咨詢(xún)、技術(shù)交流

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,綜合

 

  • 原子層沉積系統(tǒng)ALD

  • 市場(chǎng)上占地面積最小的 ALD(原子層沉積)工具。AT200M 體積小巧,可以放入手套箱中,因此是濕氣或空氣敏感沉積的解決方案。

  • 占地面積?。▇ 15 in3 或 38.1 cm3)

  • 半導(dǎo)體級(jí)元件

  • 金屬密封管路

  • 通風(fēng)前驅(qū)體外殼

  • 兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥,帶有超快速 MFC,用于集成惰性氣體吹掃

  • 前驅(qū)體(最高 150°C),歧管,腔室加熱以確保無(wú)冷凝。

  • 強(qiáng)大的 PLC 驅(qū)動(dòng)用戶(hù)界面

  • 不銹鋼腔室可加熱至 300°C。

 

規(guī)格:

  • 腔室溫度從 RT 到 300°C ± 1 °C

  • 前驅(qū)體溫度從 RT 到 150°C ± 2°C(帶加熱夾套)

  • 市場(chǎng)上占地面積最?。?.6 平方英尺),臺(tái)式安裝,兼容潔凈室,也適合手套箱。

  • 系統(tǒng)維護(hù)簡(jiǎn)單,公用設(shè)施和前驅(qū)體使用量低。

  • 腔室容積小

  • 非??焖俚难h(huán)能力。

  • 完整的硬件和軟件互鎖,即使在多用戶(hù)環(huán)境中也能安全操作

 

 



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