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EVG610 紫外納米壓印機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 EVG610
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/26 17:41:35
  • 訪問次數(shù) 282

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術(shù)服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術(shù)服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

EVG®610  UV Nanoimprint Lithography System

EVG®610  紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)


具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),從小件到大150毫米


技術(shù)數(shù)據(jù)

該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵合對齊和納米壓印光刻(NIL)。

EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間僅為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求,因此使其非常適合大學和研發(fā)應用。

對于壓印工藝,EVG610允許基板的范圍從小芯片尺寸到直徑150毫米。納米技術(shù)應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括郵票的釋放機制。 EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力,以實現(xiàn)高產(chǎn)量的印記,該卡盤支持軟性和硬性印模。



特征

頂側(cè)和底側(cè)對齊能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和配方控制的曝光間隙

支持UV-LED技術(shù)

小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術(shù)支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和配方,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換;      臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

附加功能:鍵對齊、紅外對準、納米壓印光刻、µ接觸印刷


技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)標準光刻:大150毫米的碎片;柔軟的UV-NIL:大150毫米的碎片

解析度≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程

柔軟的UV-NIL

曝光源:汞光源或紫外線LED光源

自動分離:不支持;

工作印章制作:外部;

紫外納米壓印機




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