pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀
- 公司名稱 陜西富賽思儀器儀表有限公司
- 品牌 Bigdipper/北斗星儀器
- 型號 pGas200-ASM-SC-6s
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/14 11:58:41
- 訪問次數(shù) 217
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 測試氣體 | ?硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣 |
|---|---|---|---|
| 技術(shù) | EC | 采樣方式 | 擴散式采樣 |
| 標準報警 | TWIN | 主機分辨率 | 0.025%FS |
| 探頭準確度 | ±1-2%讀數(shù)(一般) | 探頭響應(yīng)時間 | <1min |
| 環(huán)境溫度 | -10℃～60℃ | 環(huán)境濕度 | 10%～90%R（無結(jié)露） |
| 采樣溫度 | 0-40℃ | 采樣壓力 | <1.1 kgf/cm2 |
| 供電電池 | 6V充電蓄電池 |
pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀是一款專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實用型產(chǎn)品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點，可檢測硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體，適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。電化學探頭直接采樣，配有方便背包、打印功能，對現(xiàn)場檢測、或?qū)嶒炇覚z測尤其方便適用。
便攜式氣體分析儀應(yīng)用：
環(huán)境檢測
污染源檢測
工業(yè)工藝現(xiàn)場分析
科學研究實驗室分析
軍事毒氣安全
勞動安全，施工安全
化學泄露、事故分析
pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀技術(shù)指標:
BD4主機測試ADC分辨率: 0.025%FS
電化學探頭準確度: ±1-2%讀數(shù)(一般)
長期穩(wěn)定性: +/-10% /年 (一般)
分析器響應(yīng)時間：< 10ms
探頭響應(yīng)時間：<1min
儀器使用環(huán)境: 溫度：-10℃～60℃; 濕度：10%～90%R（無結(jié)露）
儀器保存環(huán)境: 溫度： 0℃～50℃; 濕度：10%～80%R（無結(jié)露）
電化學探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2
供電: 6V充電蓄電池
連續(xù)使用時間: >24Hr/每次充電; 電池置放時間1周。
便攜式有毒氣體快速檢測儀測試參數(shù)及技術(shù)指標：
技術(shù)參數(shù) | 技術(shù) | 說明 |
PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC EC EC | 擴散式采樣; 半導體車間全毒氣報警, 有一定的區(qū)辯能力. Chlorides對HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應(yīng); Fluorides對HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應(yīng); Gas200通過標定系統(tǒng)甚至可能對H2B6.GeH4,H2Se進行定性定量探測. |
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