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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質(zhì)量流量計>SEC-Z517MGX horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX

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SEC-Z517MGX horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX

參考價 18000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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我公司代理進口品牌多年,有兩大業(yè)務(wù):horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50、LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計SF/VP系列,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,有多個自主品牌:Magnehelic、Flotect、Mercoid、Love,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa、負壓表2000-500Pa、2000-60pa2000-25MBAR、2000-3KPA2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111、MS111LCD、MS121LCD、MS311LCD、MS141LCD;防爆差壓開關(guān)1950-1-2F、1950-5-2F、1950-20-2F1950G-1-2F-24、1950-0-2F;flotect流量開關(guān)V4-2-U、V6EPBBS1BAT、V6EPBBS3BAT、V6EPBBSLF;flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA;風速變送器641-6-LED、641-12-LED、641RM-12-LED;轉(zhuǎn)子流量計RMB-11-SSV-APF、RMA-13-SSV-APFRMA-25-SSV-APF、RMA-150-SSV-APF、RMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPFRMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV;高低壓報警開關(guān)A3000-1KPA-240VACA3000-750PA-240VAC、3000MR-500PA、3000MR-60PA、3000MR25MM;防爆差壓開關(guān)AT23000MRAT21910、AT21823、AT2MS、AT21640、AT11910、AT1ADPS

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計等;韓國TKSUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,太陽能,暖通,空調(diào),食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環(huán)境監(jiān)測,工業(yè)制造和實驗室等領(lǐng)域。



氣體質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計,液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機

產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 1萬-3萬 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 氣體 N2、SiH4、Ar等
量程 10SLM、最小3sccm 接口 IGS 14W3
通訊 EtherCat

Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度質(zhì)量流量

暢銷型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N122MGM、SEC-N132MGMSEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222S600 BR226S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226S500BR212、S500BM212  

   

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 又稱氣體質(zhì)量流量控制器,簡稱MFC。

主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設(shè)定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,國內(nèi)多回收、二次銷售,

我公司提供進口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,

保證全新進口,終身維修。


產(chǎn)品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng):< 1(全量程范圍內(nèi),任意設(shè)置點);
4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCATCC-Link、模擬信號。


horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512

產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

型號*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標準流量
(N2 轉(zhuǎn)換流量)

1/2SCCM


10SCCM-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉

關(guān)閉控制閥時的流量

≤ 2% F.S.

流量測量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)

響應(yīng)

≤ 1 :超過全流量范圍

直線性

≤ ±0.5% F.S.

反復(fù)性

≤ ±0.2% F.S.

工作壓差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作壓力

450 kPa (g)

耐壓

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量設(shè)定信號

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高

流量輸出信號

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高

數(shù)字界面

地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)

F-Net 協(xié)議,DevceNet

接液部材質(zhì)

316L 不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號反應(yīng)

模擬: D-Sub 9-pin (TOP)

數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)

標準接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
*SCCM SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

訂購注意:

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。






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