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等離子去膠機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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公司主要銷售實(shí)驗(yàn)室儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、散熱材料、增材制造設(shè)備、電氣設(shè)備、電子產(chǎn)品、通訊器材、機(jī)械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機(jī)械配件、非標(biāo)自動化設(shè)備、五金工具、實(shí)驗(yàn)耗材和試劑(不含危險(xiǎn)化學(xué)品)、激光儀器及輔助設(shè)備;

電氣設(shè)備、信息系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成;工程管理服務(wù);單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗(yàn)檢測服務(wù);

計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備、信息系統(tǒng)軟件、非標(biāo)自動化設(shè)備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機(jī)械設(shè)備、監(jiān)控設(shè)備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營;依托進(jìn)口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團(tuán)隊(duì)是由深圳大學(xué)從事材料,光學(xué),生物團(tuán)隊(duì)組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負(fù)責(zé)材料,生物和光電領(lǐng)域,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區(qū),可快速抵達(dá)廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù)。

目前典型服務(wù)客戶有:清華大學(xué)深圳國際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),南方科技大學(xué),深圳大學(xué),深圳技術(shù)大學(xué),北京大學(xué)深圳研究生院,松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,大灣區(qū)大學(xué)(籌),東莞理工學(xué)院,中山大學(xué),暨南大學(xué),華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射

一、產(chǎn)品介紹

CIF推出等離子去膠機(jī),采用電感耦合各向同性(各個方向)等離子激發(fā)方式,適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠。其外觀美學(xué)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,漂亮大氣,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得處理樣品量更大,適用范圍更廣,性能更穩(wěn)定,操作更簡便,性價比更高,使用成本更低,實(shí)用性更強(qiáng),更容易維護(hù)。特別適合于大學(xué),科研院所和微電子、半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基樹脂、MEMS制造過程中犧牲層,干刻或濕刻處理前或后,對基材進(jìn)行聚合物剝離、金屬剝離、掩膜材料等光刻膠去除,以及晶圓表面預(yù)處理等。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u PLC工控機(jī)控制整個去膠過程,手動、自動兩種工作模式。

u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

u 石英真空倉,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

u 可選用石英舟,更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。

u 有效處理面積大,可處理直徑200mm晶元硅片。

u 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

u 采用防腐數(shù)字流量計(jì)實(shí)現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng),可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),氣體分配均勻??奢斎?/span>氧氣、氬氣、氮?dú)狻⑺姆?、氫氣或混合?/span>等氣體。

u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

u 處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。

u 樣品處理溫度熱損傷和熱氧化。

u 安全保護(hù),倉門打開,自動關(guān)閉電源。

三、技術(shù)參數(shù)

型號

SPB5

SPB5plus

艙體尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

艙體容積

3.8L

3.8L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發(fā)方式

電感耦合

電感耦合

射頻功率

10-300W可調(diào)

10-300W可調(diào)(可選10-600W)

處理尺寸

Φ150m

Φ150m

氣體控制

質(zhì)量流量計(jì)(MFC)(標(biāo)配單路,可選雙路)流量范圍0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

ArN?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合氣體等(可選)

時間設(shè)定

1-99分59秒

真空泵

抽速約8m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1分鐘

極限真空

1Pa

AC220V 50-60Hz,所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。



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