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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備> 蘇州芯矽爐管清洗機設(shè)備

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蘇州芯矽爐管清洗機設(shè)備

參考價 1
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/10/22 17:23:24
  • 訪問次數(shù) 97

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芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

爐管清洗機設(shè)備是一種專門用于清洗半導(dǎo)體制造過程中爐管的重要設(shè)備。主要用于清洗半導(dǎo)體制造過程中使用的石英管、硅碳棒(SIC)和石英部件等。這些部件在高溫環(huán)境下容易受到污染,需要定期清洗以保持其性能。


爐管清洗機設(shè)備的使用方法包括準備工作、設(shè)置參數(shù)、裝載爐管、開始清洗、清洗完成以及清理和維護等步驟。


準備工作


設(shè)備檢查:在使用立式爐管清洗機之前,需要確保設(shè)備已經(jīng)正確安裝并接通電源。同時,檢查設(shè)備的各部件是否完好無損,特別是噴嘴和泵等關(guān)鍵部件。


化學藥劑準備:準備好清洗所需的化學藥劑和去離子水,以確保清洗過程的有效性和安全性。


設(shè)置參數(shù)


選擇合適的清洗程序:根據(jù)爐管的材質(zhì)、尺寸和污染程度,選擇合適的清洗程序和參數(shù)。這包括清洗時間、溫度、壓力以及使用的化學藥劑種類和濃度等。


裝載爐管


放置爐管:將需要清洗的爐管放入清洗機的清洗室內(nèi),并確保爐管與噴嘴之間的距離適當,以便進行有效的清洗。


開始清洗


啟動設(shè)備:啟動立式爐管清洗機,設(shè)備會自動按照預(yù)設(shè)的參數(shù)進行清洗。在清洗過程中,可以觀察設(shè)備的運行狀態(tài)和清洗效果,如有需要,可以適時調(diào)整參數(shù)。


清洗完成


取出爐管:當清洗完成后,立式爐管清洗機會自動停止運行。此時,可以打開清洗室的門,取出已經(jīng)清洗干凈的爐管。


清理維護


清理設(shè)備:在每次使用后,都需要對立式爐管清洗機進行清理和維護。這包括清洗設(shè)備的噴嘴、泵和其他關(guān)鍵部件,以及更換或補充清洗液和去離子水。同時,還需要檢查設(shè)備的電源線和插頭是否有損壞或松動現(xiàn)象。



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