RTP快速退火爐600Z
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京東之星應用物理研究所
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/10/26 16:18:29
- 訪問次數(shù) 64
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RTP快速退火爐600Z
| 性能指標 | 配備狀態(tài) | ||||
| 溫度范圍 | 150 – 1250 ℃ | ||||
| 升溫速率 | 2 — 200℃/秒可調 | ||||
| 溫度均勻性 | ±2度 | ||||
| 樣品尺寸 | 6英寸 | ||||
| 降溫速率 | 80℃/秒 | ||||
| 計算機控制器 | 聯(lián)想筆記本電腦控制, Windows7以及RTP-600控制軟件. 可編程溫度曲線存儲500 條以上, 每條曲線包括50段以上, 溫度設定范圍 100—1300 ℃ , 時間設定范圍1—30000 秒。數(shù)據可導出為文本文件便于數(shù)據處理。 | ||||
| 溫度穩(wěn)態(tài)穩(wěn)定性 | ±2℃ | ||||
| 托盤 | 6英寸石英架 | ||||
| 光源 | 鹵鎢燈 | ||||
| 處理氣氛 | 一路MFC氮氣0-15SLPM | ||||
| 冷卻方式 | CDA噴淋,水冷 | ||||
| 電源 | 380 V 63A 三相 4線(三火線, 零線) | ||||
| 水源 | 自來水或循環(huán)水, 水壓 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分 | ||||
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