Foup清洗機(jī)特點(diǎn)

多達(dá)十段清洗流程設(shè)定，工藝窗口更寬。

含有自動(dòng)執(zhí)行狀態(tài)顯示，快速檢視狀態(tài)及工作時(shí)間。

扭力偵測(cè)轉(zhuǎn)籃卡榫未定位保護(hù)，降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞。

主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制。

旋轉(zhuǎn)式離心清洗，可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn)，對(duì)于產(chǎn)品表面的附著殘留物容易清除。

以IR烘烤加速干燥時(shí)間，無任何水份殘留。

采用不同的清洗模式，能有效的去處微小的污染物。

操作程序PLC控制可按作業(yè)需求自由調(diào)整，方便快捷，人性化設(shè)計(jì)。

支持SECS/GEM200/300，符合SEMI S2、CE半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)及認(rèn)證。

產(chǎn)品參數(shù)

設(shè)備尺寸：

主流有兩個(gè)尺寸，基本屬于4250mm(L)×3170mm(W)×2800mm(H)和4250mm(L)x4170mm(W)×2800mm(H)(含腳杯+排氣口高度)。

旋轉(zhuǎn)夾具：

按客戶產(chǎn)品定制，可支持12寸FOUP/FOSB、8寸Cassette等。

產(chǎn)品數(shù)量：

基本目前有兩個(gè)選擇，一是每批次可清洗8pcs的12寸FOUP或16pcs的8寸Cassette。另外一種是每批次可清洗3pcs的12寸FOUP。

主軸轉(zhuǎn)速：

可達(dá)200rpm（自定義）。

主軸旋轉(zhuǎn)方式：正轉(zhuǎn)/反轉(zhuǎn)。

電源供應(yīng)：三相五線AC380V 50Hz 253A；外置加熱箱115A。

噪音：<80db。

主要材質(zhì)：機(jī)身采用SUS304不銹鋼，管路采用PFA。

應(yīng)用范圍：主要用于半導(dǎo)體制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗