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Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

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            北京圣達駿業(yè),專注于工業(yè)檢測領(lǐng)域,以客戶需求為導向,從成立之初的紅外測溫,工控傳感兩個產(chǎn)品線,經(jīng)過十五年的行業(yè)積累和沉淀,建立了良好的客戶信任和全面的廠家渠道。產(chǎn)品線拓展為現(xiàn)場檢測,實驗室分析相關(guān)十余種。

廣泛服務(wù)于環(huán)保,電力,石油,化工,制藥,工礦等企業(yè),及科研院所,高校實驗室。

秉承為客戶創(chuàng)造價值,互利共贏,薄利多銷,共同發(fā)展的理念,致力于為客戶甄選具有服務(wù)質(zhì)量,口碑好,性價比高的產(chǎn)品,做客戶信得過的*儀器儀表集成服務(wù)商。

堅持誠信,專業(yè),高效,感恩的態(tài)度,為客戶提供行業(yè)動態(tài),項目設(shè)計,方案咨詢,產(chǎn)品選型,專業(yè)采購和安裝培訓等全程優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

北京圣達駿業(yè)科技有限公司正在不斷完善產(chǎn)品線,以便為您提供更好的服務(wù)!

 

超聲波流量計、地下水采樣器、紅外光譜儀、水質(zhì)自動監(jiān)測系統(tǒng)、煙氣分析儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,綜合

Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀產(chǎn)品特點

  • 實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。

  • 實用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。

  • 在2分鐘內(nèi)掃描并顯示300毫米晶圓。

  • 動態(tài)補償表面翹曲。

  • 可以標刻出缺陷的位置,以便進一步分析。

  • 可容納高達450 x 450 mm的非圓形和易碎基板。

  • 能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。

Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀系統(tǒng)優(yōu)勢的四個檢測通道:

  • 偏光(污漬、薄膜不均勻性)

  • 坡度(劃痕、表面形貌)

  • 反射率(內(nèi)應(yīng)力、條紋)

  • 暗場(顆粒、夾雜物)


AT2應(yīng)用:

1.透明基底上的缺陷

Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀



2.單層污漬或薄膜不均勻性

Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀

3.化合物半導體的晶體缺陷

Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀

在化合物半導體基底和外延生長層上檢測和分類多種類型的晶體缺陷


AT2的多用途:

  • 缺陷類型

  • 薄厚基板

  • 透明和不透明基板

  • 電介質(zhì)涂層

  • 金屬涂層

  • 鍵合硅片

  • 開發(fā)和在線生產(chǎn)



AT2 軟件使用來自多個探測器任意組合的數(shù)據(jù)生成缺陷圖和報告:

  • 地圖和位置

  • 缺陷數(shù)量

  • 彩色編碼缺陷

  • 缺陷尺寸


Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀





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