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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備> SiC清洗機 碳化硅清洗

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SiC清洗機 碳化硅清洗

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統(tǒng)及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備


工作原理


SiC清洗機的工作原理主要基于流化分散及氣力分選原理。當SiC物料進入清洗機后,在氣流或水流的作用下,物料處于懸浮狀態(tài),呈現(xiàn)出類似流體的性質。這種狀態(tài)下,物料顆粒之間的摩擦力減小,有利于雜質與物料的分離。同時,流化分散可以使清洗介質(如水、空氣等)更充分地與物料表面接觸,提高清洗效果。在氣流的作用下,較輕的雜質或粉塵會被氣流帶走,而較重的SiC顆粒則會沉降下來。通過調整氣流的速度和方向,可以實現(xiàn)對不同粒度和密度物料的有效分離,從而提高SiC的純度。


主要特點


高度自動化:SiC清洗機通常配備全自動控制系統(tǒng)和高速機械手,能夠實現(xiàn)設備的平穩(wěn)運行和精準定位,大大提高了工作效率和操作的便捷性。


智能化操作:設備擁有人性化的操作界面,采用控制技術,如PLC控制或觸摸屏終端顯示等,可實現(xiàn)智能化記憶控制,方便操作人員使用和管理。


結構設計合理:設備外觀大氣、結構緊湊,后部設置排風口等設計,有利于保證設備內部環(huán)境的穩(wěn)定和清潔。同時,采用酸堿隔斷門和FFU等裝置,進一步保障設備的運行環(huán)境。


 定制化服務:可根據(jù)客戶的具體工藝需求和產能要求,提供定制化的解決方案,滿足不同客戶的生產需要。



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