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CC-200 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會社全資設(shè)立的中國子公司,專業(yè)從事國內(nèi)貿(mào)易/國際貿(mào)易業(yè)務(wù),主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機械設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動化多類上萬種產(chǎn)品的銷售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流體系,科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)漠a(chǎn)品質(zhì)量,專業(yè)的線下服務(wù)能力,為客戶提供極有競爭力的價格以及各方位的技術(shù)支持









真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積設(shè)備


負(fù)載鎖定等離子體CVD設(shè)備CC-200

負(fù)載鎖定等離子體CVD裝置CC-200體積小且易于使用,適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的一切。


特征

  • 27.12MHz高密度等離子工藝

  • SiH 4型:SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 型:可提供 SiO 2薄膜

  • 可使用CF 4 +O 2等離子體清潔腔室

  • 與有機EL低溫成膜用加熱器兼容

  • 通過托盤傳輸支持各種尺寸的電路板

  • 真空箱允許在 C 系列單元之間進行間接連續(xù)處理(濺射:CS-200,蒸發(fā):CV-200)。

目的

  • 功率器件

  • LED、LD、高速器件等相關(guān)化合物

  • 有機EL開發(fā)

  • 太陽能電池開發(fā)

  • 微機電系統(tǒng)


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