化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備>NLD-570 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
NLD-570 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 NLD-570
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/25 14:27:02
- 訪問次數(shù) 253
聯(lián)系方式：吳曉雨19270095986 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
NLD干法刻蝕設(shè)備研發(fā)NLD-570
研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開發(fā)的使用磁中性線等離子體（NLD）的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。
特征
與ICP法相比，NLD具有更低的壓力、更高的密度和更低的電子溫度等離子，因此適合加工石英、玻璃、晶體、LN、LT基板等。
耐熱玻璃和硼硅酸鹽玻璃等雜質(zhì)較多的玻璃可以蝕刻出優(yōu)異的形狀和表面光滑度。
厚膜抗蝕劑還可用作石英和玻璃深蝕刻（100μm以上）的掩模。
可進(jìn)行高速蝕刻（石英>1μm/min、Pyrex>0.8μm/min）
可以添加盒室。
目的
光學(xué)器件（衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等）、凹凸微透鏡、光子晶體、流體路徑（μ-TAS）創(chuàng)建等。
特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標(biāo)注的搶購價(jià)等價(jià)格可能是在特定活動時(shí)段下的價(jià)格，商品的具體價(jià)格以訂單結(jié)算頁價(jià)格為準(zhǔn)或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達(dá)成的實(shí)際成交價(jià)格為準(zhǔn)；如您發(fā)現(xiàn)活動商品價(jià)格或活動信息有異常，建議購買前先咨詢商家。
具體的成交價(jià)格可能因商品參加活動等情況發(fā)生變化，也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化，如用戶與商家線下達(dá)成協(xié)議，以線下協(xié)議的結(jié)算價(jià)格為準(zhǔn)，如用戶在上完成線上購買，則最終以訂單結(jié)算頁價(jià)格為準(zhǔn)。
采購中心
化工儀器網(wǎng)