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NLD-570 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

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價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)


NLD干法刻蝕設(shè)備研發(fā)NLD-570

研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開發(fā)的使用磁中性線等離子體(NLD)的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。


特征

  • 與ICP法相比,NLD具有更低的壓力、更高的密度和更低的電子溫度等離子,因此適合加工石英、玻璃、晶體、LN、LT基板等。

  • 耐熱玻璃和硼硅酸鹽玻璃等雜質(zhì)較多的玻璃可以蝕刻出優(yōu)異的形狀和表面光滑度。

  • 厚膜抗蝕劑還可用作石英和玻璃深蝕刻(100μm以上)的掩模。

  • 可進(jìn)行高速蝕刻(石英>1μm/min、Pyrex>0.8μm/min)

  • 可以添加盒室。

目的

  • 光學(xué)器件(衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等)、凹凸微透鏡、光子晶體、流體路徑(μ-TAS)創(chuàng)建等。


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