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NLD-5700 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備



用于光電器件和MEMS的
干法刻蝕設(shè)備NLD-5700

用于光器件和MEMS的NLD-5700干法刻蝕系統(tǒng)是配備磁中性線等離子體(NLD)源的用于大規(guī)模生產(chǎn)的干法刻蝕系統(tǒng)。 (采用磁中性線等離子體(NLD)的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干式蝕刻設(shè)備,由ULVAC原創(chuàng)開(kāi)發(fā)。)


特征

  • 通過(guò)在潔凈室內(nèi)工作,潔凈室可以擴(kuò)展到兩個(gè)房間(NLD、磁場(chǎng)ICP、CCP和灰化室)。

  • NLD是一種可以在空間和時(shí)間上控制的等離子體,因此干洗很容易。

  • 實(shí)現(xiàn)輕松的腔室維護(hù)。

  • 我們提供從掩模蝕刻到石英和玻璃蝕刻的工藝解決方案。

  • 半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

用途

  • 光學(xué)器件(衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開(kāi)關(guān)等)、不均勻微透鏡。

  • 流體路徑創(chuàng)建 (μ-TAS) 和光子晶體。


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