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狹縫式涂布機(jī)

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南京博創(chuàng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司成立于2019年主體經(jīng)營(yíng):1.半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備:鍵合/解鍵合設(shè)備/晶圓清洗設(shè)備/涂膠設(shè)備/剝離設(shè)備2.半導(dǎo)體用高清潔傳送設(shè)備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設(shè)備:8寸/12寸全自動(dòng)量產(chǎn)設(shè)備和R&D研發(fā)設(shè)備4.FDP/PLP設(shè)備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設(shè)備5.UV系列產(chǎn)品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計(jì) 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(qū)(新港開(kāi)發(fā)區(qū))恒泰路6號(hào)



172nm準(zhǔn)分子,臭氧發(fā)生器,照度計(jì),Robot,EB照射器

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口

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狹縫式涂布機(jī)型號(hào)SFT-GT400H-2DT-2V,用于鈣鈦礦材料涂布,玻璃尺寸為300×400mm(傳送寬度300mm),產(chǎn)品厚度:0.5-2mm,涂布材料為鈣鈦礦:粘度10-200cp,固含量:10-20%,雙刀頭及雙供液系統(tǒng)設(shè)計(jì),根據(jù)生產(chǎn)需求,可選擇材料進(jìn)行涂布;干膜厚度:0.5μm,濕膜厚度:5-10μm

涂布厚度要求:

  1. 鈣鈦礦:干膜厚度0.4-2μm,濕膜:5-10μm;

  2. 兩腔室,使用干泵,真空度≤10Pa,腔室?guī)Ъ訜峁δ?,常?0℃;

  3. 抽速可在程序內(nèi)設(shè)定分段控制(至少包含兩步以上:慢抽、快抽、充氣);

  4. VCD內(nèi)支撐pin只能接觸玻璃無(wú)效區(qū);

  5. 需帶廢氣冷凝裝置及冷凝廢液桶滿液位報(bào)警。

涂布區(qū)域要求:無(wú)膠區(qū):離玻璃四周邊緣2mm范圍內(nèi),膜厚均勻性保證區(qū)域:中心區(qū)域286mm×386mm。

狹縫式涂布機(jī)均勻性要求:保證區(qū)域均勻性要求:5%以內(nèi);兩種材質(zhì),涂布2層。

平臺(tái)真空要求:平臺(tái)真空需分布至玻璃邊緣,防止玻璃變形造成的翹起。

靜電處理 ≤1000V(配套基恩士靜電裝置)。

破片率 ≤0.15%(來(lái)料不良除外)。

凈化級(jí)別 100 級(jí)(機(jī)械手搬運(yùn)區(qū)域,配套直流式電機(jī) FFU)。

設(shè)備外形尺寸 5800×2800×1800mm(不含三色燈)。

電壓 三相 AC380V 50/60HZ 20KW。

氣壓: 0.5-0.7Mpa

真空 ≤-75Kpa(客戶提供真空源)

冷卻水 :無(wú)

排氣量 :設(shè)備配套強(qiáng)排風(fēng)機(jī),排風(fēng)口 ?100mm,排風(fēng)量 100m3/min,28 機(jī)器重量 約2200Kg

設(shè)備外觀 :外罩板金件采用 304 鏡面不銹鋼材料,設(shè)備底部有螺紋地腳及地腳滑輪

人機(jī)界面操控方式:

A、在觸摸屏/顯示屏上顯示各 I/O 點(diǎn)的狀態(tài),方便故障問(wèn)題查找。B、在觸摸屏/顯示屏上顯示自動(dòng)復(fù)位及自動(dòng)運(yùn)行條件滿足的狀態(tài),當(dāng)設(shè)備無(wú)法復(fù)位或無(wú)法自動(dòng)運(yùn)行時(shí),方便確認(rèn)是那部分條件沒(méi)有滿足

安全防護(hù):

軟件動(dòng)作互鎖及配套安全對(duì)射光柵、安全門(mén)開(kāi)關(guān)。視窗部分采用透明防靜電 PVC

板、阻值 105-9,機(jī)架接地電阻<4Ω

連線通訊方式: 設(shè)備前后端配有 24pin 標(biāo)準(zhǔn) Interface 接口,可與上/下游設(shè)備聯(lián)機(jī)

系統(tǒng)通訊方式:

由PLC或工控機(jī)控制的設(shè)備

1、通訊接口:預(yù)留以太網(wǎng)接口。通訊協(xié)議:TCP/IP或者M(jìn)odbus TCP通訊協(xié)議,2、設(shè)備廠家同時(shí)還要提供監(jiān)控系統(tǒng)的數(shù)據(jù)點(diǎn)表(PLC或工控機(jī)的數(shù)據(jù)區(qū)可以提供監(jiān)控系統(tǒng)需要的數(shù)據(jù)點(diǎn)表供上位系統(tǒng)進(jìn)行讀取)。

3、若為上下位系統(tǒng)雙向交互信息,設(shè)備供應(yīng)商需要下位軟件開(kāi)發(fā)工作,實(shí)現(xiàn)雙向控制邏輯。

4、最終設(shè)備設(shè)計(jì)前需與客戶相關(guān)人員確認(rèn)“生產(chǎn)管理系統(tǒng)”通訊需求。

其他:

1、待機(jī)狀態(tài):黃燈常亮;2、運(yùn)行狀態(tài):綠燈常亮;3、流程結(jié)束:綠燈閃爍

機(jī)器運(yùn)行安全保護(hù):

1、設(shè)備設(shè)有急停開(kāi)關(guān),當(dāng)發(fā)現(xiàn)設(shè)備異?;蚓o急事件時(shí),按下急停開(kāi)關(guān),待故障檢修排除后,機(jī)器進(jìn)行原點(diǎn)復(fù)位后方可繼續(xù)運(yùn)行;

2、設(shè)備設(shè)有安全門(mén)禁開(kāi)關(guān),機(jī)器生產(chǎn)運(yùn)作中打開(kāi)安全門(mén),機(jī)器將停機(jī)報(bào)警,安全門(mén)沒(méi)有關(guān)閉,設(shè)備無(wú)法啟動(dòng)運(yùn)行,關(guān)閉所有門(mén)后,按下啟動(dòng)按鈕,機(jī)器方可繼續(xù)運(yùn)行。

3、設(shè)備本體必須設(shè)有良好的接地端子和漏電安全防護(hù)裝置;

4、設(shè)備操作面有安全保護(hù)對(duì)射光柵,在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程,檢測(cè)及防止人員接觸到機(jī)器內(nèi)部運(yùn)動(dòng)部件,起到報(bào)警及停機(jī)功能;

5、本公司制作的設(shè)備,具有設(shè)計(jì)合理性及使用安全性,采用的電氣元器件、線路等相關(guān)材料,符合國(guó)家安全準(zhǔn)則及標(biāo)準(zhǔn),符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)阻燃規(guī)定,人員操作方面采用安全防護(hù)設(shè)計(jì),能夠及時(shí)有效保證人員操作安全,設(shè)備本體并粘貼有相關(guān)安全標(biāo)志。

6、機(jī)器完成安裝調(diào)試后,設(shè)備廠家調(diào)試人員必須對(duì)使用操作員工進(jìn)行安全操作培訓(xùn)及簽名。

主要元器件(廠家提供):

狹縫式涂布機(jī)

狹縫式涂布機(jī)

狹縫式涂布機(jī)

狹縫式涂布機(jī)

狹縫式涂布機(jī)






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