Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海爾迪儀器科技有限公司
- 品牌 Bruker/布魯克
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/1/14 13:50:05
- 訪問次數(shù) 1037
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,綜合 |
Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀
Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng)，具有4?重復(fù)性的表現(xiàn)，并提供200毫米平臺選項，在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。Dektak Pro在表面測量方面設(shè)立了新的形象，是微電子技術(shù)、薄膜與涂層和生命科學(xué)應(yīng)用的理想選擇。
Dektak Pro可提供：
? 測量和分析功能，確保 每次都能獲得準(zhǔn)確、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臄?shù)據(jù)
? 多功能性和便捷性，精簡的軟件和簡便的探針更換
? 通過直驅(qū)掃描平臺和軟件進步，減少獲得結(jié)果的時間
Dektak Pro產(chǎn)品參數(shù)
| 測量技術(shù) | 探針輪廓測量（接觸測量） |
| 測量功能 | 二維表面輪廓測量；可選三維測量 |
| 樣品視野 | 可選放大倍率， 0.275到2.2 mm |
| 探針傳感器 | 低慣量傳感器（LIS 3） |
| 探針壓力 | 1到15 mg，使用LIS 3傳感器 |
| 低作用力 | N-Lite+ 精微力傳感器，0.03到15 mg（可選） |
| 探針選項 | 探針半徑選項從50 nm到25 μm； 高徑比（HAR）針尖200 μm x 20 μm； 可根據(jù)客戶要求提供定制針尖 |
| 樣品臺 XY載物臺 | 手動100 mm（4"），手動調(diào)平； 電動150 mm（6"），手動調(diào)平； 帶編碼器電動200 mm（8"），手動調(diào)平 |
| 樣品旋轉(zhuǎn)臺 | 手動或自動，連續(xù)360° |
| 減震裝置 | 減震裝置可用（選配） |
| 掃描長度范圍 | 55 mm（2"）；200 mm（8"）具備掃描拼接能力 |
| 每次掃描數(shù)據(jù)點 | 可達120,000個數(shù)據(jù)點 |
| 樣品厚度可達 | 50 mm (1.95") |
| 晶圓尺寸可達 | 200 mm (8") |
| 臺階高度重復(fù)性 | 4 ?, 1 sigma （ ≤1 μm 標(biāo)準(zhǔn)臺階樣品) |
| 垂直范圍 | 1 mm (0.039") |
| 垂直分辨率 | 1 ? (@ 6.55 μm 范圍) |
| 輸入電壓 | 100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz |
| 溫度范圍 | 工作范圍20到 25°C (68 到 77oF) |
| 濕度范圍 | ≤80%, 無冷凝 |
| 系統(tǒng)尺寸與重量 | 尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9" W x 22.6" D x 14.5" H）； 重量：34 kg（75 lb）； 外殼尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L x 23" W x 17.5" H）； 外殼重量：5.0 kg（11 lb） |
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