Helios  Hydra DualBeam

Helios  Hydra DualBeam具有多個離子種類、適用于 3D EM 和 TEM 樣品制備的等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡檢查

Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam（等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡，簡稱 PFIB-SEM）可以提供四種不同的離子種類作為主離子束，讓您可以選擇能為樣品和用例（如掃描透射電子顯微鏡 [STEM] 和透射電子顯微鏡 [TEM] 樣品制備和 3D 材料表征）提供最佳結(jié)果的離子。

您可以在不到十分鐘的時間里輕松地在氬、氮、氧和氙之間切換而不會犧牲性能。 這種的靈活性極大地擴展了 PFIB 的潛在應(yīng)用領(lǐng)域，并可實現(xiàn)通過研究離子-樣品相互作用來優(yōu)化現(xiàn)有用例。

Helios 5 Hydra DualBeam 將創(chuàng)新的新型多離子種類等離子 FIB (PFIB) 柱與單色 Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 色譜柱相結(jié)合，提供先進的聚焦離子和電子束性能。直觀的軟件和的自動化水平和易用性可以觀察和分析相關(guān)的亞表面體積信息。

主要特點

應(yīng)用空間廣泛

離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類，應(yīng)用空間最為廣泛：Xe、Ar、O、N

先進的自動化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件，以最快速輕松的方式實現(xiàn)自動化多點原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片

納米級實現(xiàn)周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)，任何經(jīng)驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息

電子和離子束誘導沉積和蝕刻

通過選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng)，在 DualBeam 系統(tǒng)上實現(xiàn)的電子和離子束誘導沉積和蝕刻功能。

無偽影成像

基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

高通量和高質(zhì)量

使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進行高通量、高質(zhì)量和統(tǒng)計學相關(guān)的 3D 表征、交叉切片和微加工。

高質(zhì)量樣品制備

由于采用新型 PFIB 色譜柱，可實現(xiàn) 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能，可以用氙、氬或氧進行高質(zhì)量無鎵 TEM 和 APT 樣品制備。

完整的樣品信息

可通過多達六個集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息

精確的樣品導航

借助 150 mm 壓電載物臺的高穩(wěn)定性和準確性或 110 mm 載物臺的靈活性以及選配的腔室內(nèi) Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機，可根據(jù)具體應(yīng)用需求進行定制。