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Horiba直接注入式汽化器VC-1420

參考價(jià) 50000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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我公司代理進(jìn)口品牌多年,有兩大業(yè)務(wù):horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50、LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計(jì)IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計(jì)SF/VP系列,真空計(jì)VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,有多個(gè)自主品牌:Magnehelic、Flotect、Mercoid、Love,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa、負(fù)壓表2000-500Pa、2000-60pa、2000-25MBAR、2000-3KPA2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111、MS111LCDMS121LCD、MS311LCD、MS141LCD;防爆差壓開關(guān)1950-1-2F、1950-5-2F1950-20-2F、1950G-1-2F-241950-0-2F;flotect流量開關(guān)V4-2-U、V6EPBBS1BAT、V6EPBBS3BAT、V6EPBBSLF;flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA;風(fēng)速變送器641-6-LED、641-12-LED、641RM-12-LED;轉(zhuǎn)子流量計(jì)RMB-11-SSV-APFRMA-13-SSV-APF、RMA-25-SSV-APFRMA-150-SSV-APF、RMB-51D-SSV-BPFRMB-57D-SSV-BPF、RMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV;高低壓報(bào)警開關(guān)A3000-1KPA-240VAC、A3000-750PA-240VAC、3000MR-500PA、3000MR-60PA3000MR25MM;防爆差壓開關(guān)AT23000MR、AT21910、AT21823、AT2MS、AT21640、AT11910、AT1ADPS。

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計(jì)等;韓國TK,SUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,太陽能,暖通,空調(diào),食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環(huán)境監(jiān)測(cè),工業(yè)制造和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。



氣體質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計(jì),液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機(jī)

價(jià)格區(qū)間 2萬-5萬 應(yīng)用領(lǐng)域 食品,生物產(chǎn)業(yè),電子
液體 可用于不銹鋼材質(zhì)的液體 氣體 Ar
汽化能力 5g/min(TEOS)

Horiba直接注入式汽化器VC-1420

直接液體注入系統(tǒng)

在半導(dǎo)體測(cè)試工藝過程中控制氣體比例和濕度平衡相當(dāng)困難,可以通過以下產(chǎn)品達(dá)到準(zhǔn)確的氣體平衡和氣體濕度:氣體 MFC(SEC-Z512MGXN112MGX、)、液體 MFM(LF-F20M-A)、汽化器(MV-2000)。


Horiba直接注入汽化器VC-1420能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源,組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。

HORIBA 可為您提供由 Horiba直接注入式汽化器VC-1420和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統(tǒng):

· 一種用于流量測(cè)量的液體質(zhì)量流量計(jì)

· 一種用于蒸氣流量測(cè)量的高溫質(zhì)量流量控制器

· 閥門、過濾器、加熱器等

特征

· 尺寸緊湊

· 可安裝在各種位置

· 暢銷的 TEOS 汽化系統(tǒng)

· 結(jié)合 SEF 或 LF,可實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制

· 無需特殊鼓泡罐或汽化罐

· DeviceNetTM 型產(chǎn)品系列

· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)


技術(shù)參數(shù)

Horiba直接注入式汽化器VC-1420


外形尺寸圖

Horiba直接注入式汽化器VC-1420

HORIBA 是高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制程,可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點(diǎn)。無論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化,HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括:汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

暢銷型號(hào):VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.


 

汽化器注入式方法

以下是將液體源氣化并輸送入反應(yīng)腔的主要步驟。

1.測(cè)定液體源的流量,并通過反饋電路,控制閥門開度。

2.液體瞬間全部氣化。

3.氣體被釋放,且不會(huì)變回液相狀態(tài)。

氣化系統(tǒng)采用注入式的方法繼而按以上1,2,3步進(jìn)行傳輸。

 

汽化器VC-1420采用內(nèi)置質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量液體流量,因此不再需要其他載氣。


 

汽化器VC與其他設(shè)備組合使用


汽化器MI-1000、汽化器MV-2000需要配置液體流量計(jì)LF-A、載氣流量控制器SEC,來實(shí)現(xiàn)液體源汽化。



金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)

先進(jìn)的高精度過程控制儀器用于高產(chǎn)量 MOCVD 應(yīng)用

電力電子領(lǐng)域的許多行業(yè)使用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)作為激光二極管、LED和半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn)工藝。MOCVD工藝是一種成熟的可控合成方法,它使用了多種MO源,如三甲基銦(TMI)和二乙基鋅(DEZ),需要一種穩(wěn)健的傳遞方法,以確保沉積過程的重復(fù)性和高收率。MOCVD系統(tǒng)利用起泡器汽化,從而控制MO源濃度、生長時(shí)間和生長速率。部分MO源用載氣流帶出源瓶,并從起泡器流向腔室。在這個(gè)過程中捕獲的MO源的濃度必須是已知的,而且最重要的是必須具有重復(fù)性,以提供最大的工藝效率。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)需要精確、快速和理想的過程變量的閉環(huán)控制,包括氣體流量、溫度和壓力。








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