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SD-650MH 磁控濺射鍍膜機

參考價 280000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京博遠微納科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 SD-650MH
  • 產(chǎn)地 北京
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/2/24 14:25:13
  • 訪問次數(shù) 26

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


北京博遠微納科技有限公司  創(chuàng)立于2004年,共有員工20余人,其中高級工程師8人,研發(fā)團隊7人,是中國區(qū)*家專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售濺射儀及掃描電鏡的*公司集濺射儀,鍍膜儀,掃描電鏡,維護改造四位一體,擁有一支專業(yè)的工程師團隊,并將濺射儀、鍍膜儀系列產(chǎn)品的質(zhì)量和性能提高到水準。

 

離子濺射儀,掃描電鏡

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 10萬-30萬
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,航空航天 真空度 10的-5次方
靶頭 多靶 電源 直流源、射頻源
可鍍材料 鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟 靶頭尺寸 2英寸、3英寸、4英寸
控制方式 觸摸屏 樣品臺 可定制

SD-650MH磁控濺射鍍膜機

類型:桌面型 (包含工作臺搭建)                                                           儀器主機含腔體總高≥490mm          

★(2)定制化真空工作腔室接口。金屬腔體:直徑≥260mm×高270mm(外尺寸 ) , 直徑≥210mm×高270mm(內(nèi)尺寸)。

★(3)控制方式:配置VPI定制化液晶控制系統(tǒng),可實現(xiàn)雙屏分控??芍悄芸刂葡到y(tǒng)操作,控制電流電壓等。 啟動功率 :≥3KW                    

4)靶頭:磁控雙靶,磁控靶配有擋板結(jié)構(gòu)??蔀R射儀強磁性材料。各靶可獨立/共同工作,采用磁控靶從上向下濺射鍍膜;                                            靶材尺寸:直徑≥50mm 。  

  靶材料: 配備直徑不低于50mm×3mm的銅靶。

5)膜厚儀:配備膜厚儀監(jiān)控范圍06000納米??杀O(jiān)控速率0.001納米/秒。與觸摸屏程序操作相結(jié)合,可聯(lián)動控制,監(jiān)測膜厚,液晶觸摸屏膜厚儀可選擇各靶材定制系數(shù)、密度,預(yù)置≥257種鍍膜材料,可新增自定義材料。  

★(6)氣路:氣路可以通過電磁流量閥觸摸屏與手動閥聯(lián)動控制 。                                  

7)真空系統(tǒng):分子泵+直聯(lián)高速旋片式真空泵,抗沖擊渦輪分子泵,抽速≥ 300L/s ,一鍵泄真空。                      

8)前級機械泵:抽速≥ 4L/s,帶防返油電磁閥及油污過濾器 .                   

9)真空測量:采用復(fù)合真空計監(jiān)測真空 

10)樣品臺:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)。                                          

★(11)極限真空度: 5×10-5Pa                                                     

12)電氣柜:標配直流恒流電源:輸入電壓:220V 輸出電壓:0-600v                                   輸出電流:0-1.6A ,射頻功率電源:功率≥300W,配射頻匹配器。                                                          

★(13)工作氣體為Ar等惰性氣體,設(shè)備應(yīng)配備氣瓶及減壓閥。                                              

14)水冷:自循環(huán)冷卻水機 

15)電源電壓:380V/220V                                                                                                 

16)均勻性:靶材均勻度直徑50mm內(nèi),金屬類膜厚均勻度可達±3%

17)可鍍材料:鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等

品牌                        博遠微朗(北京)技術(shù)發(fā)展有限公司                                           

名稱                        磁控濺射鍍膜機                                                                   

型號                        SD-650MH                                                                   

儀器主機尺寸:               610mm×寬420mm×高220mm(注:含腔體總高490mm                           

工作腔室尺寸              金屬腔體:直徑260mm×高500mm(外尺寸 )                                    

                                      直徑210mm×高270mm(內(nèi)尺寸)                                     

靶頭:                      單靶(可選配雙靶)                                                         

靶材尺寸:                  直徑50mm×厚3mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)                              

靶材料:                    標配一塊直徑50mm×3mm的銅靶及直徑50mm×3mm的鋁靶                           

靶槍冷卻方式:              水冷                                                                        

極限真空度:                 5×10-5Pa10分鐘可到5×10-3Pa                                            

電源:        直流恒流電源:輸入電壓:220V                                                             

                            輸出電壓:0-600v                                                            

                            輸出電流:0-1.6A                                                            

             射頻電源和匹配器:功率500W。                                                                

載樣臺                    直徑200mm                                                                    

工作氣體:                  Ar等惰性氣體(需自備氣瓶及減壓閥)                                           

氣路:                      氣路可以通過電磁流量閥與手動閥聯(lián)動控制。                                     

水冷:                      自循環(huán)冷卻水機                                                                

膜厚儀                      實時監(jiān)測,VPI觸摸屏控制                                                       

可鍍材料:                  鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等                                                                

電源電壓:                  220V 50Hz                                                                    

啟動功率                    3KW                                                                      





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