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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>原子層沉積設(shè)備> 微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

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廈門毅??萍加邢薰境闪⒂?017年,秉持著 “顧客至上,毅睿進(jìn)取” 的服務(wù)宗旨,在科技領(lǐng)域不斷深耕前行,致力于為客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。(更多產(chǎn)品信息請(qǐng)瀏覽“毅??萍肌保?/span>


在半導(dǎo)體領(lǐng)域,公司匯聚了一支半導(dǎo)體裝備團(tuán)隊(duì),成員包括行業(yè)教授、多位博士研究生/碩士研究生,以及深耕真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域的中國(guó)臺(tái)灣技術(shù)團(tuán)隊(duì)。公司擁有強(qiáng)大的自研能力,專注于真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)。其中,微波等離子體輔助原子層沉積設(shè)備作為公司核心產(chǎn)品,融合國(guó)內(nèi)外技術(shù),具備高精度、高性能等優(yōu)勢(shì),廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,為相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供關(guān)鍵支持。


新能源領(lǐng)域,公司積極布局,承擔(dān)新能源電池實(shí)驗(yàn)室及中試線的整體建設(shè)工作。憑借深厚的技術(shù)積累和創(chuàng)新精神,自主研發(fā)了電池?cái)D壓針刺試驗(yàn)機(jī)、多工位電池防爆試驗(yàn)箱等產(chǎn)品,能夠有效保障新能源電池的安全性和可靠性,助力新能源電池行業(yè)的技術(shù)升級(jí)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展。


此外,公司還充分發(fā)揮資源整合優(yōu)勢(shì),代理銷售國(guó)內(nèi)外科研儀器設(shè)備,如力辰、明美、儀電、蜂鳥(niǎo)聲共振等品牌,為科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)等提供豐富多樣的科研物資選擇,滿足不同客戶在科研及生產(chǎn)過(guò)程中的多樣化需求。


未來(lái),廈門毅??萍加邢薰緦⒗^續(xù)堅(jiān)守服務(wù)宗旨,以客戶需求為導(dǎo)向,以創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng),不斷加大研發(fā)投入,提升技術(shù)水平和服務(wù)質(zhì)量,在科技創(chuàng)新的道路上砥礪前行,為行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)更多力量。






半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備,新能源實(shí)驗(yàn)室建設(shè),實(shí)驗(yàn)室科研設(shè)備

價(jià)格區(qū)間 100萬(wàn)-200萬(wàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,綜合

微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

Microwave Plasma Atomic Layer Deposition System

微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

Description:

●微波頻率:2.45±0.025 GHz

●微波功率:≥3 KW連續(xù)可調(diào)

●可實(shí)現(xiàn) <+/-3% 的均勻沉積

●氣體:SiH4,NH3, N2O, Ar, N2, CF4, O2..

●極限壓力:≤1X10 -3Torr

●尺寸:8英寸晶圓

●用 途:SiO2,SixNx...etc.,




原子層沉積是一種特殊的化學(xué)氣相沉積技術(shù),通過(guò)將氣相前驅(qū)體交替地通入反應(yīng)室,并在基底表面發(fā)生化學(xué)吸附和反應(yīng),形成原子級(jí)別的薄膜。

原子層沉積技術(shù)具有以下關(guān)鍵特性:

?1. 自限制生長(zhǎng)?:每次反應(yīng)只發(fā)生在單層原子上,確保薄膜的厚度和組成可控。

2?. 優(yōu)異的三維保型性?:能夠在復(fù)雜形狀的基底上均勻沉積薄膜。

?3. 大面積均勻性?:能夠在較大的基底面積上



應(yīng)用領(lǐng)域

  1. ?微電?:用于邏輯器件中的高K柵介電質(zhì)、柵電極HfO2、La2O3等,以及DRAM的電容器介電層?。

  2. ?微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)?:用于防磨損、防粘附的涂層如Al2O3/TiN?。

  3. ?學(xué)?:用于光學(xué)濾鏡、透明導(dǎo)電氧化物、防反射圖層、電致發(fā)光顯示屏等?

  4. ?新能?:用于太陽(yáng)能電池的鈍化層、緩沖層、透明電極,以及鋰離子電池的陽(yáng)極、陰極、固體電解質(zhì)?。

  5. ?催化材?:用于氧化物催化劑如MnO2、ZnO、TiO2,以及金屬催化劑如Pt?。

  6. ?生物領(lǐng)域?:用于生物傳感器和生物芯片的制備?。


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