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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>常用儀表>流量儀表>其它流量儀表>MC100 應(yīng)用工業(yè)設(shè)備氣路系統(tǒng)層流質(zhì)量流量控制器

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MC100 應(yīng)用工業(yè)設(shè)備氣路系統(tǒng)層流質(zhì)量流量控制器

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 陜西易度智能科技有限公司
  • 品牌 易度智能
  • 型號 MC100
  • 產(chǎn)地 未央?yún)^(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)草灘十路1787號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/3/17 17:13:22
  • 訪問次數(shù) 16

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陜西易度智能科技有限公司專注于研發(fā)制造業(yè)過程工藝中的流體微流量控制核心器件,形成以層流元件、精密比例調(diào)節(jié)閥、壓差傳感器和軟件算法為核心的高精度層流質(zhì)量流量計和控制器等產(chǎn)品,為半導(dǎo)體、生物制藥、新材料、新能源、環(huán)保等制造業(yè)提供高精度微流量測控核心部件和解決方案。

易度智能的研發(fā)團(tuán)隊以數(shù)名博士為核心,自主研發(fā)十余年,團(tuán)隊在微流量測量、控制等領(lǐng)域擁有深厚的技術(shù)積累和創(chuàng)新能力,已獲得6項國家發(fā)明,在具有新穎性。公司積極開展產(chǎn)學(xué)研合作,與多所高等學(xué)府進(jìn)行深入合作。

易度智能的高精度層流質(zhì)量流量計和控制器系列產(chǎn)品基于層流壓差原理,精度、重復(fù)性、響應(yīng)時間等核心指標(biāo)與熱式流量計相比具有很大優(yōu)勢,依靠專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊十多年的專注研發(fā),完成了層流質(zhì)量流量計與控制器的批產(chǎn),成為僅有的幾家擁有自研層流壓差式微流量控制儀表并批量應(yīng)用的企業(yè)。


質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器,氣體層流質(zhì)量流量計,氣體層流質(zhì)量流量控制器

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,化工,制藥,電氣 精度 ±1.0%S.P.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S. 工作流量范圍 1%~100%F.S.
介質(zhì)溫度 -20℃~60℃ 環(huán)境溫度 -20℃~50℃
使用濕度 0%~98%(無冷凝) 工作壓力 0-1MPa
供電電壓 24V±20% 量程范圍 0.5sccm~500slpm

易度智能MC100系列,是一款應(yīng)用工業(yè)設(shè)備氣路系統(tǒng)層流質(zhì)量流量控制器,其可用多種氣體,具有高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)、高穩(wěn)定性等優(yōu)勢。


特征:

l 原理:層流壓差式原理

l 便捷操作:提供上位機軟件設(shè)定流量。

l 核心優(yōu)勢:單機可用多種氣體,較快的響應(yīng)時間,并且可以設(shè)定后自主運行的性能

l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實時顯示5種過程變量

l 內(nèi)置70多種氣體,簡單切換氣體,無需查找、輸入系數(shù),可自主編輯混合氣體

l 無需預(yù)熱時間,開機即可使用,減少貴重氣源浪費。



產(chǎn)品規(guī)格:

l 產(chǎn)品型號:MC100

l 量程范圍:0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類:N/C(常閉型)


性能參數(shù):

l 精度:±1.0%S.P.(設(shè)定值)(20%~100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿量程)(1%~10%量程范圍)

l 重復(fù)精度:±0.2%F.S.

l 壓力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100kPaA;    Span:≤±0.2%F.S./100kPaA(基準(zhǔn)100kPaA)

l 溫度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃;             Span:≤±0.02%F.S./℃(基準(zhǔn)溫度25℃)

l 零點漂移:±0.2%F.S./年

l 工作范圍:1%~100%F.S.

l 響應(yīng)時間:≤700ms.

l 啟動預(yù)熱時間:1s


使用條件:

l 介質(zhì)溫度:-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度:-20℃~50℃

l 使用濕度:0%~98%(無冷凝)

l 工作壓力:0~1Mpa

l 耐壓:1.5Mpa

l 工作壓差范圍:100kPa~600kPa

l 供電電壓:24V±20%

l 消耗電流:<500mA (<12V)

l 安裝方式:任意角度

l 接氣部材質(zhì):SUS316L

l 進(jìn)出口:管螺紋(內(nèi)螺紋)

l 接氣部密封材質(zhì):橡膠圈密封:氟橡膠


通訊方式:

l 數(shù)字信號:RS485,Profibus

l 模擬信號:4-20mA,0-5V


應(yīng)用場景

l 金剛石生產(chǎn)過程中的氣體流量控制

l CVD設(shè)備中的氣體流量控制

l 化學(xué)氣相沉積中的氣體流量控制


MC100應(yīng)用工業(yè)設(shè)備氣路系統(tǒng)層流質(zhì)量流量控制器。內(nèi)置多種氣體,方便用戶使用。快速響應(yīng)可迅速糾偏,抗氣源壓力波動,層流壓差原理使得產(chǎn)品具有較高的可靠性和穩(wěn)定性。內(nèi)置高精度的溫度和壓力傳感器,確保產(chǎn)品具有極低的溫漂和壓漂,長期穩(wěn)定性較好,產(chǎn)品連續(xù)在線工作控制準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性好





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