磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列

渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi)，附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn)，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。 同時(shí)，從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子，也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是，上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度，而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域，渦輪分子泵是通過該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能

主要特點(diǎn)

?無油的超真空環(huán)境

?機(jī)械式的氣體分子排氣(動(dòng)態(tài)排氣),對(duì)所有的氣體的排氣速度大致相同

?可排稀有氣體和腐蝕性氣體

?可連續(xù)排大流量氣體

?可工作的壓力范圍寬。 (～10-10Pa）.

OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列

使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣，而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

新型磁懸浮軸承型渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特長

• 省電力設(shè)計(jì)

• 工作數(shù)據(jù)，軸承接觸次數(shù)，機(jī)種情報(bào)等都可存儲(chǔ)于分子泵本體                                                                                                                                     ※進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)即使更換控制器，數(shù)據(jù)也可進(jìn)行轉(zhuǎn)移

• 多種通信規(guī)格(可對(duì)應(yīng)EtherCAT)

• 國際規(guī)格

• 符合CE，SEMI-S2，NRTL規(guī)格

  應(yīng)用場合：

  
  

• 半導(dǎo)體制造設(shè)備

• FPD制造設(shè)備

• 太陽能電池制造設(shè)備

• 玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工

• 薄膜加工

• 加速器/宇宙環(huán)境實(shí)驗(yàn)設(shè)備

  技術(shù)參數(shù)：

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