V77 PRECESS普瑞賽思傳輸門閥
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 杭州域勢科技有限公司
- 品牌 域勢科技
- 型號 V77
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/3/19 11:17:18
- 訪問次數(shù) 14
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,電氣 |
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PRECESS普瑞賽思傳輸門閥(V77系列)
低顆?;罨群皖w粒排放以及快速、可靠的打開和關(guān)閉循環(huán)方面的顆粒性能是半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中大氣傳輸門的關(guān)鍵性能指標(biāo)。
新的V77 HV傳送門插件與L-Motion結(jié)合了優(yōu)秀的顆粒性能和優(yōu)化的可控性,可實現(xiàn)可調(diào)、快速的循環(huán)時間。
通過優(yōu)化各種設(shè)計特征,如板上用于均勻密封壓縮的扭桿、完好封裝的致動器、無潤滑環(huán)境和具有可調(diào)速度曲線的真實L-Motion,以避免任何閉合沖擊,實現(xiàn)了優(yōu)秀的顆粒性能。
V77具有可調(diào)速度曲線的優(yōu)秀真實L-Motion是通過PRECESS的特殊L-Motion技術(shù)實現(xiàn)的,該技術(shù)有兩個獨立的執(zhí)行器,用于垂直和水平移動。結(jié)果:一種高度可靠的執(zhí)行器概念,具有快速、穩(wěn)定、可調(diào)節(jié)和無沖擊的運動。好處:更長的正常運行時間和更好的可控性。
PRECESS普瑞賽思傳輸門閥(V77系列)
特征:
l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用(Semi E21-94 Semi E24-92 Semi-E21.1-1296)
l閥蓋法蘭真空側(cè)的防塵密封,幾乎消除了顆粒物進(jìn)入波紋管
l無顆粒和振動
優(yōu)點:
l實現(xiàn)精確的L動作
l易于維護(hù)
應(yīng)用:
l半導(dǎo)體加工
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽能電池板制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群和內(nèi)聯(lián)真空系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)