江崎出售日本CANON ANELVA晶體真空計(jì)M-320XG 型 
江崎出售日本CANON ANELVA晶體真空計(jì)M-320XG 型

可以在從大氣壓到 1×^10-2 Pa 的大范圍內(nèi)進(jìn)行可靠的測量。
由于石英晶體的諧振阻抗隨壓力變化，因此在接近大氣壓的情況下可以進(jìn)行更穩(wěn)定的測量。
它可用作壓力開關(guān)，用于檢測腔室中的大氣壓力通風(fēng)口，以及測量過程壓力。

1. 測量范圍廣：
   從大氣壓到 1×^10-2 Pa，具有出色的重現(xiàn)性

2. 高安全性
   晶體真空計(jì)是一種沒有熱源（燈絲）的真空計(jì)

3. 緊湊、超輕的
   控制器部分只有手掌大小，重量僅為 200 克

型　名	M-320XG
測定球	XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）
測定圧力範(fàn)囲	1×10-2 Pa ～ 大気圧
Gas種選択	N2、Ar、H2、Air
アナログ出力 （圧力信號）	DC 0 - 10 V：デジットスイッチにより下記項(xiàng)目出力形式設(shè)定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力　フルスケール圧力レンジ選択可能（1×101、1×102、1×103、1×104、1×105 Pa）
リモートI/O	INPUT	①ガス種設(shè)定　2bit信號で切換 ②ゼロ點(diǎn)調(diào)整 ③ATM設(shè)定
	OUTPUT	セットポイント出力2點(diǎn)
セットポイント	2點(diǎn)（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定） デジットスイッチにより設(shè)定（SP1、SP2共仮數(shù)部、指數(shù)部）
動作環(huán)境	5 ℃ ～ 50 ℃（コントローラー含む） ゲージヘッドのみの耐熱溫度150℃MAX
ゼロ點(diǎn)調(diào)整	PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調(diào)整
フルスケール調(diào)整	トリマーボリュームによる調(diào)整
入出力コネクタ	Dsub 15P
表示	LED 3ヶ（PWR／ALM???緑／赤の2色発光、SP1-Status???緑、SP2-Status???緑）
所要電力	DC 22 V ～ 33 V、（最大消費(fèi)電力2 W）
外形寸法（mm）	72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず）
質(zhì)量	200 g（ゲージヘッド含まず）
センサー取り付けフランジ	NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等

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主要合作客戶有：中芯(SMIC), 京東方(BOE) ,華星光電(CSOT),天馬（TIANMA）, 歐菲光(O-FILM), 柔宇（ROYOLE） 維信諾(VISIONOX), 豐田（TOYOTA）, SUZUKI(鈴木），比亞迪（BYD）,大疆（DJI）；駿馬精密（ZAMA）等，憑借專業(yè)銷售代理的經(jīng)驗(yàn)，成熟的產(chǎn)品，贏得了廣大客戶的信任。  

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