日本CANON ANELVA（熱陰極電離真空計）M-311HG型 
日本CANON ANELVA（熱陰極電離真空計）M-311HG型

這是傳感器真空計系列中的離子計。 離子真空計（熱陰極電離真空計）具有良好的重現(xiàn)性和線性性，能夠測量廣泛的壓力，使其成為真空計的出色特性。 該傳感器使用經(jīng)過驗證的微型儀表（MG-2I 型）。

1. 壓力測量范圍
   寬，可達 10-7 Pa ~ 10 Pa，在不犧牲^超高真空側(cè)特性的情況下，可測量超出濺射工藝的低真空范圍

2. 高響應模擬量輸出：
   帶壓力值的模擬量信號輸出可確保 100 毫秒內(nèi)的高響應，也可用于過程壓力控制

3. 可以選擇
   四種發(fā)射電流設(shè)置模式以適應應用，例如在高壓區(qū)域使用時延長燈絲壽命 
   
   

4. 型　名	イオンゲージ
   M-311HG‐SP	M-311HG‐RS
   圧力測定範囲	1×10-7 ～ 10 Pa
   入力電圧	DC20 ～ 28 V
   消費電力	12 W
   アナログ出力	0 ～ 10 V	－
   セットポイント	2點リレー出力
   インターフェース	－	RS485
   入出力コネクタ	Dsub-9（Male）
   最大ケーブル長	200 m（1 mm2）
   使用溫度範囲	5 ～ 50 ℃
   保存溫度範囲	-20 ～ 70 ℃
   センサ－型名	ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ）
   センサー材質(zhì)（主要部）	フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
   外形寸法 （mm）	110×70×50
   フランジ形狀	NW16, NW25, ICF34, ICF70
   対応	CEマーキング、RoHS、IP40

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