MSD-150D 桌上型半自動(dòng)顯影機(jī)
參考價(jià) | ¥ 1 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MSD-150D
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/22 12:27:21
- 訪問次數(shù) 12
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MSD-150D用于對(duì)顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝,適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。
本司提供8寸、12寸桌上型顯影機(jī),更多功能如吹氣、背洗等請(qǐng)咨詢。
技術(shù)規(guī)格:
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
主體 | 外殼材質(zhì):SUS 處理樣品尺寸:6寸以內(nèi) 承盤:PTFE 馬達(dá): 轉(zhuǎn)速:20-3000 R.P.M 搖臂:自動(dòng) 操作界面:7寸觸摸屏 |
顯影裝置 | 藥液裝置: 顯影 x1 DIW x1 |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng): PLC 使用接口:7寸觸屏 配方:手動(dòng)和自動(dòng)模式 編程 : 50 組 20 步 |
安全裝置 | 晶圓承盤真空滲液保護(hù): |
真空檢知: 數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護(hù) 運(yùn)行結(jié)束報(bào)警提示 |
附件 | 真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1 |