MAS4-BE 曝光系統(tǒng)一體機(jī)
參考價(jià) | ¥ 1 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MAS4-BE
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/21 21:27:57
- 訪問(wèn)次數(shù) 61
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產(chǎn)品應(yīng)用:
MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機(jī)可實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用,集成化程度更高,占地面積更小。廣泛應(yīng)用于高校研究所實(shí)驗(yàn)的光刻工藝,可完成涂膠、烘烤、曝光、顯影工序。
工藝步驟:
涂膠(放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片)→烤機(jī)(放片、烘烤、取片)→曝光(放片、曝光、取片)→顯影(放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、取片)→取片(轉(zhuǎn)移下道工序)。
控制系統(tǒng)
控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯,自由修改、編輯、存儲(chǔ)、及調(diào)用工藝配方等。
技術(shù)參數(shù):
曝光系統(tǒng)一體機(jī) | 外觀 | 不銹鋼 | 曝光
| 曝光模式:接觸式一次曝光 |
處理尺寸 | ≤Ф102mm | 光源: 4"LED 專用曝光頭 | ||
涂膠 | 轉(zhuǎn)速:20-10000RPM | 紫外光中心波長(zhǎng):365nm | ||
加減速度:350-10000RPM/S | 操作方式:手動(dòng) | |||
編程:50組20步 | 顯影 | 轉(zhuǎn)速:20-3000 R.P.M | ||
烤膠 | 溫度:RT~300℃ | 擺臂:自動(dòng) | ||
面板材質(zhì):鋁合金 | 配置:一路顯影、一路水 |