日本EBARA荏原 干式真空泵支持腐蝕性氣體

日本EBARA荏原 干式真空泵支持腐蝕性氣體

1. EV-X型作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。

通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來的工藝擴(kuò)展。特定以大幅的溫度控制實(shí)現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋；低能耗、占地??；可耐受腐蝕性氣體（采用標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕材料）；適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等。

2.EEV-S 型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵，有著從輕制程工藝到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附

加功能的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 ”。

特 點(diǎn)

低能耗占地小輕量化方面達(dá)到業(yè)內(nèi)水平;耐腐蝕材料、氦氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致,通過增強(qiáng)的傳感功能減少停機(jī)時(shí)間，

3.EV-M型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時(shí)兼顧了對(duì)重制程工藝和節(jié)能的需求，實(shí)現(xiàn)了停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)的減少和運(yùn)行成本的降低。

特 點(diǎn)產(chǎn)品系列豐富，可應(yīng)對(duì)多種工藝、抽氣速率需求;兼顧高負(fù)荷與低功耗;可應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體(標(biāo)配耐腐蝕材料)

4.EST型采用螺桿型轉(zhuǎn)子,可應(yīng)對(duì)CVD等工藝副產(chǎn)物的生成,并具備大流量抽氣、耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功能。

特 點(diǎn)

可滿足副產(chǎn)物生成的工藝(泵內(nèi)氣體可保持高溫);抽氣速率高、流量大;搭載轉(zhuǎn)速自動(dòng)控制功能(自適應(yīng)氣體流量大小);

可應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體(標(biāo)配耐腐蝕性材料);

搭載高性能通信功能優(yōu)良的控制管理方式(數(shù)據(jù)保存功能、警報(bào)履歷備份)

5.ESA型:干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場(chǎng)景表現(xiàn)出色。具備流量自適應(yīng)轉(zhuǎn)速調(diào)整、通信功能等額外功能。

特 點(diǎn)適用于大型真空腔室的高速抽氣場(chǎng)景，搭載轉(zhuǎn)速自動(dòng)控制功能(自適應(yīng)泵的負(fù)荷);可滿足有機(jī)溶劑要求的可選配件;搭載高性能通信功能;優(yōu)良的控制管理方式

(數(shù)據(jù)保存功能、警報(bào)履歷備份)

6.EV-SA型干式真空泵

EV-SA 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風(fēng)冷干式真空泵。以節(jié)能低噪為特點(diǎn)，適合各種分析機(jī)器、電子顯微鏡等清潔抽氣用途。

特 點(diǎn)小型風(fēng)冷泵;低噪音、低功耗;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認(rèn)證。

7.EV-A10型干式真空泵

EV-A10 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風(fēng)冷干式真空泵。在接近大氣壓環(huán)境下的抽氣速率優(yōu)異，是反復(fù)進(jìn)行空氣抽吸用途的選擇。

特 點(diǎn)般真空抽氣用的小型風(fēng)冷泵;適用于大氣壓抽氣，抽氣峰值速率1000L/min;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認(rèn)證,

8.

EV-PA型干式真空泵是以小型、輕量、節(jié)能為特點(diǎn)的清潔用途風(fēng)冷干式真空泵。這款新一代干式真空泵有著即插即用的便攜性，并且采用了非接觸式密封設(shè)計(jì)以延長(zhǎng)使用壽命。

特 點(diǎn)小型、輕量;風(fēng)冷式、無需潤(rùn)滑油、即插即用;非接觸式密封設(shè)計(jì)，無需更換封層、延長(zhǎng)使用壽命。