LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3202L-TN

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3202L-TN

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。

核心技術(shù)架構(gòu)

傳感系統(tǒng)：

熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設(shè)計，溫度分辨率達0.01℃

壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）

科里奧利式：直接質(zhì)量測量，精度可達±0.1%讀數(shù)

閥體系統(tǒng)：

壓電瓷閥（響應(yīng)時間<10ms）

電磁比例閥（壽命>10?次循環(huán)）

技術(shù)驗證數(shù)據(jù)

案例1：半導(dǎo)體刻蝕工藝

控制氣體：Cl?/HBr混合氣

流量范圍：50-200sccm

穩(wěn)定性測試：8小時波動<±0.3%

典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

離子注入（BF?/PH?精確配氣）

2. 新能源領(lǐng)域：

燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）

光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）

3. 制藥行業(yè)：

生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）