VDN902 光學(xué)鍍膜工藝高效前級抽氣真空泵
| 參考價 | ￥ 8700 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 東莞市飛粵真空科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 VDN902
- 產(chǎn)地 中國東莞
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/4/11 14:46:34
- 訪問次數(shù) 19
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BUSCH普旭，Rietschle里其樂/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國BOC Edwards愛德華，日本ULVAC愛發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國ALCATEL阿爾卡特，Pfeiffer普發(fā)等。
| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質(zhì) | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 多級 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣,綜合 |
核心應(yīng)用場景
1. 鍍膜前級粗抽：
快速將鍍膜腔體從大氣壓抽至 10?2~10?1 Pa，為分子泵或渦輪泵提供基礎(chǔ)真空環(huán)境，縮短設(shè)備啟動時間。
2. 輔助離子源清潔：
在離子束輔助沉積（IAD）中，維持低真空環(huán)境（1~10 Pa），配合離子轟擊去除基片表面雜質(zhì)。
3. 多層膜間歇抽氣：
在交替沉積不同材料（如TiO?/SiO?）的工藝間隙，快速排出殘余氣體，確保膜層純度。
技術(shù)優(yōu)勢與適配性
| 維度 | 技術(shù)表現(xiàn) | 行業(yè)價值 |
| 快速抽氣能力 | 抽速200~1500 L/min，5分鐘達(dá)10?1 Pa | 縮短鍍膜周期，產(chǎn)能提升15%~25% |
| 油污染控制 | 分子篩吸附器+低溫冷阱，油蒸氣濃度＜0.01 ppm | 保障光學(xué)薄膜透光率（＞99.5%） |
| 耐粉塵設(shè)計 | 進(jìn)氣口預(yù)過濾（精度5μm），減少鍍膜顆?；匚?/span> | 延長泵體維護(hù)周期至 12個月 |
| 能耗效率 | 智能變頻驅(qū)動，待機(jī)能耗降低40% | 單臺年節(jié)電 1.2萬度，減碳8.5噸 |
與干式泵的對比及適用建議
| 指標(biāo) | 愛發(fā)科油式旋片泵 | 干式螺桿泵 |
| 采購成本 | 約 $5,000~$15,000 | 約 $20,000~$50,000 |
| 極限真空 | 10?2 Pa（需配合分子泵） | 10?3 Pa（獨(dú)立工作） |
| 維護(hù)成本 | 年約 $800（換油+濾芯） | 年約 $3,000（螺桿組件更換） |
| 適用場景 | 中小型鍍膜機(jī)、非超潔凈鍍膜、間歇式生產(chǎn) | 大型連續(xù)鍍膜線、超低污染要求（如激光鏡片） |
典型應(yīng)用案例
案例1：AR眼鏡增透膜鍍制
- 痛點(diǎn)：傳統(tǒng)泵抽氣慢導(dǎo)致鍍膜周期長（單批次4小時），油蒸氣引起膜層霧化。
- 解決方案：
采用愛發(fā)科VDN-300油泵+分子篩過濾器，匹配渦輪分子泵組。
-成果：
- 前級抽氣時間從30分鐘縮短至12分鐘，單批次鍍膜時間降至2.5小時；
- 膜層霧度從0.8%降至0.15%，透光率達(dá)標(biāo)率99.3%。
案例2：光學(xué)濾光片批量生產(chǎn)
- 痛點(diǎn)：鍍膜腔體顆粒污染導(dǎo)致良率僅85%。
- 方案：
愛發(fā)科 G-200D油泵+前置旋風(fēng)除塵器**，真空管路加裝波紋管隔振。
- 成果：
- 顆粒污染物減少70%，良率提升至93%；
- 設(shè)備綜合能耗降低25%，年省電費(fèi) $8,000。
油蒸氣控制關(guān)鍵技術(shù)
1. 多級過濾系統(tǒng)：
- 機(jī)械捕集：離心式油霧分離器（效率＞95%）；
-吸附凈化：活性炭+分子篩復(fù)合濾芯（殘留油蒸氣＜0.01 ppm）。
2.低溫冷阱：
- 溫度降至-40℃，冷凝回流油蒸氣，避免返流至鍍膜腔體。
3.智能監(jiān)控：
- 油品狀態(tài)傳感器實(shí)時預(yù)警，確保潤滑油未裂解碳化。
選型與維護(hù)指南
| 鍍膜類型 | 推薦型號 | 關(guān)鍵配置 |
| 常規(guī)光學(xué)鍍膜 | VDN-200 | 分子篩過濾器+變頻驅(qū)動 |
| 高精度激光鏡片 | G-100D（不銹鋼） | 低溫冷阱+振動隔離底座 |
| 大批量生產(chǎn) | G-500D | 雙進(jìn)氣口+耐粉塵預(yù)過濾系統(tǒng) |
維護(hù)要點(diǎn)：
- 每 2000小時 更換專用低蒸氣壓真空泵油（如ULVAC L-80）；
- 每 6個月 清潔或更換油霧過濾器濾芯；
- 避免連續(xù)抽取可凝性氣體（如水蒸氣），需加裝氣鎮(zhèn)閥。
愛發(fā)科油式旋片真空泵以 高性價比、快速抽氣及可控的油污染，成為中小型光學(xué)鍍膜設(shè)備的理想前級泵選擇。通過 多級過濾+智能監(jiān)控，可滿足大多數(shù)光學(xué)薄膜（增透膜、反射膜、濾光片）的潔凈度需求，尤其適合：
1. 預(yù)算有限 的鍍膜代工廠；
2. 非潔凈 的工藝場景（透光率要求＜99.9%）；
3.間歇式生產(chǎn) 線，需頻繁啟停的設(shè)備。
光學(xué)鍍膜工藝高效前級抽氣真空泵
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