愛德華真空泵以高精度、高可靠性、多場景適配性著稱，廣泛應用于半導體、光伏、科研、醫(yī)療等高技術(shù)領域。

核心產(chǎn)品線及特點
1. 干式真空泵（Dry Vacuum Pumps） 
- 無油污染設計：  
  采用爪式、螺桿式或渦旋式結(jié)構(gòu)，零潤滑油，杜絕油蒸氣反流，滿足半導體、制藥等行業(yè)潔凈度要求（顆粒物＜0.1 μm，碳氫化合物＜0.01 ppm）。  
- 耐腐蝕性能：  
  鍍鎳涂層或陶瓷轉(zhuǎn)子，耐受Cl?、CF?、O?等腐蝕性氣體（如等離子刻蝕工藝）。  
- 節(jié)能高效：  
  變頻驅(qū)動（VSD）技術(shù)，能耗降低30%~50%，適配24小時連續(xù)生產(chǎn)。  

代表型號：  
-nXDS系列：抽速10~600 m3/h，極限真空≤1×10?2 mbar，適配半導體刻蝕與薄膜沉積。  
- STP系列：耐腐蝕設計，用于光伏電池鍍膜與LED制造。  



2. 渦輪分子泵（Turbo Molecular Pumps）  
- 超高真空性能：  
  磁懸浮或陶瓷軸承技術(shù)，極限真空達10?1?~10?11 mbar，適配高精度鍍膜、粒子加速器、質(zhì)譜分析。  
- 高速穩(wěn)定：  
  轉(zhuǎn)速90,000 RPM，抽速200~5,000 L/s（氫氣），支持快速抽氣與壓力穩(wěn)定控制。  
- 智能監(jiān)控：  
  集成振動傳感器與溫度保護，故障率降低80%。  

代表型號：  
- EXT系列磁懸浮泵：零機械磨損，壽命＞100,000小時，用于EUV光刻與半導體工藝。  
-nEXT系列：緊湊型設計，適配實驗室與小型設備。  



3. 低溫泵（Cryopumps）  
- 超大抽速：  
  對水蒸氣、氫氣等氣體抽速達10,000~50,000 L/s，極限真空≤10?1? mbar。  
-無震動干擾：  
  無機械運動部件，適配電子顯微鏡、表面分析儀等精密儀器。  
- 快速再生：  
  自動加熱再生周期＜2小時，減少停機時間。  

代表型號：  
-CoolPak系列：集成冷頭與壓縮機，適配真空鍍膜與空間模擬。  

關鍵性能優(yōu)勢

典型應用場景  
1. 半導體制造  
- EUV光刻：EXT磁懸浮分子泵維持超低真空（10?? mbar），保障光刻膠無污染。  
- 原子層沉積（ALD）：nXDS干式泵快速抽除前驅(qū)體氣體，膜厚均勻性±0.1 nm。  

2. 光伏與顯示行業(yè)  
- OLED蒸鍍：STP干式泵耐高溫（150℃），抽速穩(wěn)定保障有機材料均勻沉積。  
- 鈣鈦礦電池鍍膜：渦輪分子泵+低溫泵組合，真空度達10?? mbar，減少缺陷。  

3. 科研與醫(yī)療  
- 同步輻射光源：低溫泵抽速50,000 L/s，維持超高真空束線環(huán)境。  
- 冷凍電鏡：無振動低溫泵保障亞埃級成像精度。  

4. 工業(yè)制造 
- 真空釬焊：干式泵快速排除氧化氣體，焊縫強度提升30%。  
- 真空冶金：分子泵組實現(xiàn)10?? mbar環(huán)境，提升金屬純度。  



客戶價值 
1.技術(shù)：  
   - 磁懸浮分子泵、耐腐蝕干式泵等技術(shù)，打破國際壟斷。  
   - 適配3nm以下半導體制程與EUV光刻需求。  
2. 成本優(yōu)化：  
   - 干式泵免潤滑油維護，年節(jié)省耗材費用$5,000~$20,000。  
   - 智能監(jiān)控系統(tǒng)減少意外停機損失，綜合成本降低25%。  
3. 可持續(xù)性：  
   - 低能耗設計減少碳足跡，兼容綠色工廠標準（ISO 50001）。  
   - 長壽命設計（分子泵壽命＞10萬小時），減少設備更換頻次。  

選型建議  

愛德華真空泵以超潔凈、耐腐蝕、智能化為核心，成為制造與科研領域的選擇：  
- 半導體行業(yè)：突破EUV光刻與3nm制程真空技術(shù)瓶頸；  
- 光伏與顯示：保障OLED與鈣鈦礦電池量產(chǎn)良率；  
- 科研醫(yī)療：為超精密儀器提供無振動、超高真空環(huán)境。  
如需定制方案，請?zhí)峁┕に噮?shù)（目標真空度、氣體類型、抽速需求），我們將為您匹配泵組配置！ 愛德華RV系列真空泵應用真空冶金薄膜覆層