晶圓厚度TTV測試儀
- 公司名稱 九域半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/14 15:22:49
- 訪問次數(shù) 80
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價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
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在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓的厚度測量是至關(guān)重要的一環(huán),它直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。為了滿足高精度測量的需求,我們研發(fā)了一款對射非接觸式光譜共焦位移傳感器厚度測量設(shè)備,專門用于晶圓厚度的精確測量
技術(shù)特點(diǎn)
高精度測量:本設(shè)備采用光譜共焦原理,通過分析反射光的光譜信息來確定被測物體的位移,從而實(shí)現(xiàn)對晶圓厚度的精確測量。其重復(fù)精度高達(dá)±0.5um,絕對精度達(dá)到+1um,確保了測量結(jié)果的可靠性和穩(wěn)定性。
靈活的測量模式:設(shè)備提供多種測量模式,包括4線米字掃描、多點(diǎn)位步進(jìn)掃描等,用戶可以根據(jù)實(shí)際需求自定義掃描軌跡,滿足多樣化的測量需求。
先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu):工作平臺采用XY運(yùn)動平臺與龍門結(jié)構(gòu)相結(jié)合的設(shè)計(jì),保證了測量過程中的穩(wěn)定性和精度。載物臺方面,我們優(yōu)選鏤空、六支臂結(jié)構(gòu)形式,以最小化對測量結(jié)果的干擾;次選為鋁合金載物臺鍍特氟龍涂層,并刻有不同尺寸晶圓的輪廓示意線,便于用戶快速定位。