HyperMF/MF-U

176系列—高精度測量顯微鏡

特點(diǎn)

*高精度XY測量精度為（0.9+3L/1000）μm。

可選擇LAF（激光自動(dòng)對焦）功能。

良好的操作性能和重復(fù)精度。

三軸電動(dòng)控制。

標(biāo)配電動(dòng)自動(dòng)聚焦裝置。

技術(shù)參數(shù)：HyperMF

觀察圖像:正像

光管:單目目鏡或雙目目鏡

（可選俯角：25º）、十字投影法、

帶有TV插板、光通比

（目鏡/TV插板：50/50）

目鏡（選件）:10X,15X,20X

物鏡:3X（375-037）,W.D.:72.5mm

可選:1X,5X10X,20X,50X,100X

輪廓照明

•光源:鹵素?zé)襞?/span>（12V,100W）

（光纖冷光照明）

•光學(xué)系統(tǒng):帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)

•功能:光強(qiáng)度可調(diào)、100級亮度調(diào)整

表面照明

•光源:鹵素?zé)襞?/span>（12V,50W）

•光學(xué)系統(tǒng):帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)

•功能:光強(qiáng)度可調(diào)、100級亮度調(diào)整

數(shù)據(jù)輸出:通過RS-232C接口

電源:100/110/120/220/240VAC,50/60Hz

尺寸:880x913x730mm（主機(jī)）

160x476x381（電源裝置）

重量250kg（主機(jī)）,14kg（電源裝置）

技術(shù)參數(shù)：HyperMF-U

觀察圖像:正像

光管:Siedentoph型（可調(diào)瞳距：51-

76mm）,1X光管鏡頭、雙目目鏡

（俯角：25º）、十字投影法、

帶有TV插板、光通比

（目鏡/TV插板：50/50）

目鏡:10X（視場直徑：24mm）,

可選:15X,20X

轉(zhuǎn)盤（選件）:電動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤

物鏡（選件）:從1X-100X的M/BDPlanApo物鏡

輪廓照明

•光源:鹵素?zé)襞?/span>（12V,100W）

•光學(xué)系統(tǒng):帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)

•功能:光強(qiáng)度可調(diào),

100級亮度調(diào)整

表面照明

•光源:鹵素?zé)襞?/span>（12V,50W）

•光學(xué)系統(tǒng):帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)

•功能:光強(qiáng)度可調(diào)、100級亮度調(diào)整

數(shù)據(jù)輸出通過RS-232C接口

電源:100/110/120/220/240VAC,50/60Hz

尺寸:880x913x770mm（主機(jī)）

160x476x381（電源裝置）

重量255kg（主機(jī)）,14kg（電源裝置）

三軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)操縱桿：

X,Y,Z三軸均由一根操縱桿驅(qū)動(dòng)、控制，作

為操作面的核心?？蛇M(jìn)行速度控制：從工

作臺的高速驅(qū)動(dòng)，到工件的超低速精確定

位。

高精度數(shù)字光柵尺：

本系列顯微鏡的三軸均配備高精度數(shù)字玻

璃光柵尺。三豐公司生產(chǎn)玻璃刻度的實(shí)驗(yàn)

室設(shè)于地下，終年恒溫、恒濕。XY（工作臺）

以及Z軸（鏡管）的移動(dòng)以數(shù)字形式顯示。

LAF鏡管：

可選用LAF（激光自動(dòng)聚焦）目鏡。LAF系統(tǒng)

在微小步進(jìn)minutesteps測量時(shí)具有更高的

重復(fù)精度，使高難度測量更加輕松。

大型高精度XY 工作臺：

多年以來，在制造精密測量顯微鏡方面，

三豐積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，利用這些經(jīng)驗(yàn)，

經(jīng)大規(guī)模、高穩(wěn)定性的設(shè)計(jì)，三豐推出此

型工作臺，zui大負(fù)載為30kgf ，備有各種固

定件，包括芯片固定器和旋轉(zhuǎn)中心支架。

性能參數(shù)：

176-420*/176-421*/176-422*/176-423*/176-424*