SDY-5型雙電測四探針測試儀







SDY-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙位組合測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

使用本儀器進行測量時，由于不需要進行幾何邊界條件和探針間距的修正，因而對各種形狀的薄膜材料及片狀材料有廣泛的適用性。儀器特別適用于測量片狀半導(dǎo)體材料電阻率以及硅擴散層、離子注入層、異型外延層等半導(dǎo)體器件和液晶片導(dǎo)電膜、電熱膜等薄層(膜)的方塊電阻.

儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,特別采用了平面輕觸式開關(guān)設(shè)計和各種工作狀態(tài)LED指示.并應(yīng)用了微計算機技術(shù),利用HQ-710F型微計算機作為測量控制及數(shù)據(jù)處理器,使得測量、計算、讀數(shù)更加直觀、快速，并能打印全部預(yù)置和測量數(shù)據(jù)。



技術(shù)指標(biāo)：

1、測量范圍：電阻率：0.001－200.cm(可擴展)

薄層電阻:0.01-2000/口(可擴展)

可測晶片厚度：≤3.00mm

2、恒流電源:電流分為100mA、1mA、10mA、 100ma 四檔 ；連續(xù)可調(diào)；穩(wěn)定度優(yōu)于0.3%

3、數(shù)字電壓表：量程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精度：±0.1%

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示。極性、小數(shù)點、超量程自動顯示；

4、模擬電路測試誤差：(用1、10、100、1000 精密電阻測量)≤±0.3%±1字;

5、整機準(zhǔn)確度：(用0.01至180.cm硅標(biāo)樣片測試)≤4%

6、微計算機功能：

A 鍵盤控制測量取數(shù)，自動控制電流換向和電流、電壓探針的變換，并進行正、反向電流下的測量，顯示出平均值

B 鍵盤控制數(shù)據(jù)處理，按內(nèi)存公式計算出薄層電阻或電阻率平均值以及百分變化。

C 鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù)。包括測量條件，各次測量平均值、zui大值、zui小值，百分變化等數(shù)據(jù)。

7、外形尺寸：電氣主機：360mm×320mm×100mm； 微計算機：300mm×210mm×105mm

8、儀器重量：電氣主機：約4kg；測試架(J-2A型):約5kg;微計算機:約2.5kg;

9、電源：AC 220V±10%,50Hz,功率〈25W

10、測試環(huán)境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強光照射。

訂購指南
編號 品名 說明 單價(元/套)

142152 SDY-5 SDY-5型主機、J-2B型測試架、710-F型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配9D探頭 27266.00

142154 SDY-5型主機、J-52型測試臺、710-F型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配DNT－1型探頭 27594.00

142156 SDY-5型主機、J-52型測試臺、裝配DNT-1型探頭 20098.00
142158 TZT-9D型四探針探頭 探針間距1mm針距，針尖材料:碳化鎢鋨合金;針尖曲率半徑:40±5μm;探針壓力:5至8牛頓(總壓力，此范圍內(nèi)可調(diào));探針機械游移率:小于0.3%;探針伸出長度2+0.5mm;針尖錐體夾角60度;針間絕緣電阻:大于109Ω
TZT-9D型四探針探頭采用環(huán)氧精澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.同時適用復(fù)合材料作探針,從而提高探針頭的使用壽命.它具有絕緣性能好、測試數(shù)據(jù)可靠，使用壽命長等特點。它的所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)，同時符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定。用于測薄片

1468.00
142160 J-2B型手動測試臺(樣品直徑100) 1798.00
142162 J-52型手動測試臺(樣品臺400mmx500mm) 2296.00
142164 DNT-1型四探針探頭 1798.00
142166 DNT-2型四探針探頭 1798.00
142168 DNT-3型四探針探頭 1798.00
142170 SDY-6型 SDY-6型主機、J－52型測試架、710－F2型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配DNT－1型探頭 33318.00
14217 SDY-6型主機、J-2B型測試臺、710－F2型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機)、裝配9D型探頭 32466.00
142172 J-51型手動測試臺(樣品臺直徑200mm) 2735.00
142174 DJ-2型電動測試臺(樣品臺直徑150mm;有效高度50mm) 8589.00