K1050X 射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 南京覃思科技有限公司
- 品牌
- 型號 K1050X
- 產(chǎn)地 英國MITECH
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2017/7/17 11:21:48
- 訪問次數(shù) 1167
產(chǎn)品標(biāo)簽
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掃描電子顯微鏡；掃描電鏡；透射電鏡；超小型臺式透射電鏡；桌上型透射電鏡；英國EMITECH；電鏡制樣設(shè)備；熱蒸鍍鍍膜儀；鍍碳儀；噴碳儀；噴金儀；臨界點干燥儀；冷凍干燥儀；離子濺射鍍膜儀；磁電靶濺射鍍膜；高真空鍍膜儀；韓國掃描電鏡；SEM；TEM；三坐標(biāo)測量儀；超高倍顯微診斷儀；冷光儀；生化發(fā)光檢測儀；生物顯微鏡；金相顯微鏡；體視顯微鏡；偏光顯微鏡；熱臺；表面張力/接觸角測定儀；亮度色度計；色彩輝度計；CCD攝像頭；顯微圖像分析軟件；顯微鏡數(shù)字化改造；3D三次元測量儀
K1050X等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成，同時兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控，全部或部分通氣口控制。
它的腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，方便使用。
真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機械泵或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應(yīng)用時，可方便更換抽屜式抽拉系統(tǒng)。
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機物質(zhì)（碳?xì)浠衔铮?，氬對樣品表面進(jìn)行刻蝕。
它的腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，方便使用。
真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機械泵或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應(yīng)用時，可方便更換抽屜式抽拉系統(tǒng)。
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機物質(zhì)（碳?xì)浠衔铮?，氬對樣品表面進(jìn)行刻蝕。
應(yīng)用：
● 石棉試樣制備
● 石棉試樣制備
● 有機材料微觀灰化
● SEM&TEM中有機樣品刻蝕
● 去除光刻膠及電子元件中的包膠
● 塑料品的表面處理
● SEM/TEM中的樣品夾清洗
特點：
● 固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路
● 固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路
● 全自動控制
● 抽屜式結(jié)構(gòu)
● 兩種處理氣體
● 緊湊的臺式系統(tǒng)
優(yōu)點：
● 低溫灰化過程
● 易操作
● 裝/卸樣品方便
● 可選擇不同的混合氣體
● 節(jié)省空間
● 注：我們建議使用No. 2泵，
它具有“的油”。
技術(shù)規(guī)格
儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H 重量：25Kg
桶形工作腔室：‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.（硼硅酸鹽玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)配置）
儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H 重量：25Kg
桶形工作腔室：‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.（硼硅酸鹽玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)配置）
拉出式抽屜：樣品托盤為抽拉式
等離子輸出：射頻電源-固態(tài)150瓦射頻峰值，通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
等離子輸出：射頻電源-固態(tài)150瓦射頻峰值，通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(備注：所使用的頻率為標(biāo)準(zhǔn)組織CISPR認(rèn)可的“工業(yè)”頻率)
真空測量范圍：完整的操作真空顯示的活性計量頭ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar
數(shù)字計時單元：99.9小時選擇范圍時間顯示。在灰化過程結(jié)束后自動終止。
雙氣體流控制：雙氣體針閥控制，可選1或2或兩種氣體（校準(zhǔn)5到 100cm3/分 空氣 @ A.T.P.）
電源：230V 50Hz (包括泵zui大電流5 Amp)；115V 60Hz(包括泵zui大電流10 Amp)
Services： Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵：No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr
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