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ICP CVD——感應(yīng)耦合等離子體-化學(xué)氣相沉積

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京宏昌信科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2015/11/8 21:22:45
  • 訪問(wèn)次數(shù) 3509

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


   北京宏昌信科技有限公司是一家集氣體檢測(cè)儀器,水質(zhì)檢測(cè)儀器的專業(yè)代理商,公司致力于引進(jìn)國(guó)外*的氣體分析儀器設(shè)備、水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備、室內(nèi)環(huán)境檢測(cè)設(shè)備及應(yīng)急檢測(cè)設(shè)備提供給國(guó)內(nèi)用戶,公司代理的儀器廣泛適用于軍工、航天、電力、化工、環(huán)保等行業(yè)以及科研部門(mén),教學(xué)院校,環(huán)境監(jiān)測(cè)站等。  公司成立以來(lái),通過(guò)公司全體員工的同心協(xié)力,憑借公司員工對(duì)行業(yè)儀器設(shè)備的了解、以及代理產(chǎn)品令人信服的品質(zhì)及服務(wù)質(zhì)量,樹(shù)立了良好的口碑。與上述主要行業(yè)企業(yè)建立了穩(wěn)固而可信賴的務(wù)聯(lián)系?!?/span>

   公司主要產(chǎn)品有:氣體檢測(cè)儀、氣體分析儀、煙氣分析儀、水質(zhì)檢測(cè)儀,室內(nèi)空氣質(zhì)量檢測(cè)儀,露點(diǎn)儀等?! ?/span>

    主要代理廠家有 :美國(guó)華瑞氣體檢測(cè)儀,法國(guó)奧德姆公司的氣體檢測(cè)儀,英思科氣體檢測(cè)儀,TSI環(huán)境檢測(cè)儀。
    主要產(chǎn)品:PGM 7600,PGM 7320,PGM 7300,PGM 7240,PGM 7340,PGM 7200,PGM 30,PGM 1100,PGM 1700,PGM 1600,PGM 2400,PGM 2000,PGM 54,PGM 50,PGM 3000,PGM 7800,PGM 7840,PGM 50Q,PC 5000EX,PC 3000EX,YSI 550A,DO 200,XP-302M,XP-311A,4160,PPMHTV,PCO2,VOC檢測(cè)儀,水質(zhì)檢測(cè)儀,氣體檢測(cè)儀,一氧化碳檢測(cè)儀,氧氣檢測(cè)儀,復(fù)合氣體檢測(cè)儀,TVOC檢測(cè)儀,甲醛檢測(cè)儀,粉塵檢測(cè)儀,采樣器,風(fēng)速儀,TSI 9515 ,COD檢測(cè)儀,BOD檢測(cè)儀,水產(chǎn)養(yǎng)殖檢測(cè)儀,CM-05A,紅外二氧化碳分析儀,煙氣分析儀,KM 940,KM 9160,紅外測(cè)溫儀,測(cè)振儀,離心機(jī),恒溫培養(yǎng)箱,光離子化檢測(cè)儀,HI 3604,照度計(jì),TES 1330A,PH 330I,濁度計(jì),離子計(jì)


美國(guó)RAE氣體檢測(cè)儀,防護(hù)服;

感應(yīng)耦合等離子體-化學(xué)氣相沉積(ICP-CVD)

主要特點(diǎn)
1. 離子能量和離子電流密度分別控制
2. 典型的工藝壓強(qiáng):1-10 毫托
3. 等離子體密度:大約5×1011/cm2
4. 等離子體和襯底相接觸
5. 沉積過(guò)程中離子電流的能量低
6. 離子電流(等離子體密度)取決于ICP的功率
7. ESS(靜電屏蔽)功能做到真正的感應(yīng)耦合

典型應(yīng)用:
1. 面向剝離技術(shù)的低溫沉積
2. 低溫沉積超高質(zhì)量二氧化硅
3. 低溫沉積多晶硅
4. ICP是*自動(dòng)匹配(2個(gè)射頻自動(dòng)匹配單元)

牛津儀器的ICP CVD工具

 

本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品

MX6復(fù)合氣體檢測(cè)儀    現(xiàn)貨美國(guó)英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀

TN3紅外測(cè)溫儀     fluke 59mini紅外測(cè)溫儀   照度計(jì) CENTER337   tx2000 h2氫氣檢測(cè)儀   HI93734-01余氯、總氯(Cl2)配套試劑    HI93735-01總硬度配套試劑

3011食品中心溫度計(jì)  FD216測(cè)氡儀土壤取樣器  HGY2058在線電磁式酸堿濃度計(jì)

HGY2018在線PH計(jì)   RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器  AR3130電子天平   SA1200(P)空氣消毒機(jī)

YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測(cè)量?jī)x  DO200在線溶解氧測(cè)定儀   YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測(cè)儀  3M6800防毒面罩  美國(guó)華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測(cè)儀  YSI3100 電導(dǎo)率儀   HT10S煙氣黑度照相測(cè)定儀  正壓式空氣呼吸器   COD-571-1型消解裝置

PPMhtv甲醛檢測(cè)儀  AD102農(nóng)藥檢測(cè)卡  DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計(jì)   

PRM-3040射線檢測(cè)儀  美國(guó)MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡   PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測(cè)儀   MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測(cè)報(bào)警儀    MIC-500-CH4O 甲醇探測(cè)器

YSI 550A型便攜式溶氧儀  TES-1360A溫濕度計(jì)   GM1357聲級(jí)計(jì)

PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀   GDYS-102SJ尿素測(cè)定儀   GDYS-101ST鐵測(cè)定儀

GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀   GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測(cè)儀(10通道)

GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀  D3A激光測(cè)距儀

本月*產(chǎn)品

現(xiàn)貨美國(guó)英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀  M40硫化氫傳感器  PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀   PGM-6208 6合一氣體檢測(cè)儀   FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測(cè)儀

PRM-1200(DoseRAE 2)射線檢測(cè)儀   FGM-3300 環(huán)氧乙烷(ETO)氣體檢測(cè)儀

M40一氧化碳傳感器     M40氧氣傳感器   PGM-1600可燃?xì)怏w報(bào)警儀

特征

Plasmalab System 80Plus

Plasmalab System100

Plasmalab System133

 

ICP65

ICPCVD180

ICPCVD380

電極尺寸

240mm

240mm

Up to 330mm

進(jìn)樣

開(kāi)放進(jìn)樣

真空進(jìn)樣

真空進(jìn)樣

襯底

50mm wafers

2英寸晶片

6英寸,可以選擇多片或小片的載片臺(tái)

8英寸,可以選擇多片或小片的載片臺(tái)

摻雜劑

不行

包括PH3,B2H6GeH4在內(nèi)的多種摻雜劑

包括PH3B2H6GeH4在內(nèi)的多種摻雜劑

液體源

不行 

不行

不行

質(zhì)量流量計(jì)控制的氣體管線

可使用812根管線

可使用812根管線

可使用812根管線

載片臺(tái)的溫度范圍

20°C 400°C

0°C 400°C

0°C 400°C

在位等離子體清洗

可以

可以

可以

 



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